Medidor de Fluxo de Massa de Alto Vácuo

Introdução O medidor de vazão mássica (MFC) consiste de três dispositivos básicos: sensor de fluxo, desvio de fluxo e placa de circuito impresso, mede com precisão as taxas de fluxo de massa apesar do volume de gás flutuar devido a mudanças de temperatura. O MFC é amplamente aplicado nas áreas de semicondutores e IC ...

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Introdução de Produto

Especificação

Gamas de Fluxo	（20,30,50,100,200,300,500） SCCM （0 ~ 1,2,3,5,10） SLM
Precisão	± 1,5% FS
Linearidade	± 1% FS
Repetibilidade	± 0,2% FS
Tempo de resposta	≤4 seg
Coeficientes de temperatura t	Zero: ≤ ± 0,1% FS / ℃ ； Extensão: ≤ ± 0,2% FS / ℃
Pressão máxima	3MPa
Temperatura de Operação	5 ℃ ~ 45 ℃
Material de vedação	Viton, Neoprene
Sinal de ajuste / saída	0V ~ + 5,00V (Impedância de entrada> 100K, corrente de saída≤3ma)
Fonte de energia	+ 15V 50mA -15V 50mA
Conexão elétrica	D sub 15 pinos Feminino
Pressão diferencial	＜ 0, 01 MPa
Taxa de vazamento	1 × 10-8atm • cc / seg He （1 × 10-9 Pa • m ³ / seg He）
Junta Padrão	SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ”, φ4 (interior) × 1 Acoplador de mangueira, VCR1 / 4”, Swagelok1 / 4 ”, ø6 (interior) × 1 Acoplador de mangueira
meios de comunicação	Todo o gás
Emi	CE
Peso	0,92 kg

Introdução

O medidor de fluxo de massa (MFC) consiste em três dispositivos básicos: sensor de fluxo, desvio de fluxo e placa de circuito impresso, mede com precisão as taxas de fluxo de massa e o volume de gás flutua devido a mudanças de temperatura. O MFC é amplamente aplicado nas áreas de fabricação de semicondutores e IC, ciência de materiais especiais, indústria química, indústria petroquímica, indústria farmacêutica, proteção ambiental, pesquisa de sistemas de vácuo, etc.

Características

◆ alta precisão, longa vida útil, excelente repetibilidade

◆ resposta rápida, soft-start, boa confiabilidade

◆ ampla faixa de pressão de operação (boa operação em alta pressão ou situação de vácuo)

◆ operação fácil e conveniente

◆ Pode ser instalado onde for necessário e conectado ao computador para realizar o controle automático.

Aplicação típica

As aplicações típicas do MFC incluem equipamentos de processo microeletrônicos como difusão, oxidação, epitaxia, CVD, plasma, condicionamento químico, sputtering, implante de íons e outros campos como equipamentos de deposição a vácuo, fusão de fibras ópticas, equipamento de micro-reação, mistura e sistema de gás correspondente. , sistema de controle de fluxo capilar, cromatógrafo a gás e outros instrumentos analíticos.

Dimensão de instalação