Componentes básicos do equipamento de revestimento de ferramentas

Equipamentos modernos de revestimento a vácuo (tecnologia de aquecimento uniforme, tecnologia de medição de temperatura, tecnologia de oscilação magnética, tecnologia ânodo auxiliar, fonte de alimentação de frequência intermediária, tecnologia de pulso) são compostos principalmente de câmara de vácuo, seção de medição de vácuo, sistema de entrada de gás, parte de transmissão mecânica, parte de medição de aquecimento e temperatura, fonte de evaporação ou sputtering de iões, sistema de arrefecimento de água e outras peças.

1. câmara de vácuo

Equipamento de revestimento dividido principalmente em linha de produção de revestimento contínuo e máquina de revestimento de câmara única. Devido às altas exigências dos moldes e ferramentas de revestimento nas peças de aquecimento e transmissão mecânica, assim como o grande diferente da forma e tamanho do molde, a linha de produção de revestimento contínuo é geralmente difícil de atender ao requisito e revestidor de câmara única. é sempre usado.

2. Sistema de bombeamento a vácuo

Na tecnologia de vácuo, o sistema de bombeamento a vácuo é uma parte importante. Devido aos altos requisitos de adesão de moldes e ferramentas de revestimento, o processo de revestimento requer um bom vácuo de fundo, portanto, uma seleção razoável do sistema de bombeamento a vácuo do equipamento é essencial para alcançar um alto grau de vácuo. Por enquanto, não há bomba que possa operar da pressão atmosférica até se aproximar do vácuo ultra alto. Portanto, o bom vácuo não é alcançável por equipamentos ou métodos de vácuo únicos. Várias bombas devem ser usadas em combinação, como sistema de bombas mecânicas, sistemas de bombas moleculares e assim por diante.

3. Sistema de Medição a Vácuo

A parte de medição de vácuo do sistema de vácuo é usada para medir a pressão na câmara de vácuo. Como a bomba de vácuo, não há um medidor de vácuo que possa medir toda a faixa de vácuo. Muitos tipos de medidores de vácuo são produzidos de acordo com diferentes princípios e requisitos.

4. Sistema de Alimentação

A fonte de alimentação alvo inclui principalmente fonte de alimentação CC (como MDX) e fonte de alimentação de frequência intermediária (como PE, PEII e PINACAL da American AE Company). A peça de trabalho em si geralmente precisa ser fornecida com alimentação DC (como MDX), fonte de alimentação pulsada (como PINACAL + produzida pela American AE Company) ou fonte de alimentação de RF (RF).

5. Sistema de Entrada de Gás de Processo

Gases de processo, tais como argônio (Ar), hélio (Kr), nitrogênio (N2), acetileno (C2H2), metano (CH4), hidrogênio (H2) e oxigênio (O2) são geralmente fornecidos por cilindros de gás. Eles são a entrada da câmara de vácuo através da válvula redutora de pressão de gás, válvula de fechamento de gás, oleoduto, medidor de fluxo de gás, válvula solenóide, válvula piezoelétrica. A vantagem deste tipo de sistema de entrada de gás é que a tubulação é simples e clara, e é fácil de reparar ou substituir o cilindro. Além disso, cada máquina de revestimento não afeta o outro. Além disso, há também casos em que múltiplos revestidores compartilham um grupo de cilindros, o que pode ser encontrado em algumas das maiores oficinas de revestimento, as vantagens são que ele reduz o consumo de cilindros de gás e faz um planejamento e layout unificados. A desvantagem é que a chance de vazamento aumenta devido a muitas articulações. Além disso, as máquinas de revestimento irão interferir umas com as outras, e o vazamento de ar de um tubo de máquina de revestimento pode afetar a qualidade do produto de outras máquinas de revestimento. Além disso, ao substituir os cilindros, deve-se assegurar que todos os mainframes estejam em estado de não uso.

6. Sistema de Transmissão Mecânica

O revestimento da ferramenta requer que o filme tenha espessura uniforme. Portanto, deve haver três rotações no processo de revestimento para atender aos requisitos. Isto é, enquanto uma grande rotação da mesa da peça estiver em funcionamento, uma pequena mesa de transporte da peça também girando e a própria peça de trabalho pode girar ao mesmo tempo. No projeto mecânico, geralmente há uma grande engrenagem motriz no centro da parte inferior da grande mesa giratória da peça de trabalho, envolvida por algumas pequenas rodas estreladas para engrenar com ela e, em seguida, use o garfo de mudança para girar a peça de trabalho. É claro que, ao fazer os revestimentos do molde, geralmente duas rotações são suficientes, mas a capacidade de carga da engrenagem deve ser bastante aprimorada.

7. Sistema de Medição de Aquecimento e Temperatura

Ao fazer o revestimento do molde, como garantir o aquecimento uniforme da peça de trabalho é muito mais importante do que no processo de revestimento decorativo. O equipamento de revestimento de moldes geralmente tem dois aquecedores à frente e atrás, e o termopar é usado para medir e controlar a temperatura. No entanto, devido aos diferentes pontos de fixação do termopar, a leitura da temperatura não pode ser a temperatura real da peça de trabalho. Existem muitas maneiras de medir a temperatura real da peça de trabalho. Aqui está um Thermomeer de superfície fácil de usar. O princípio de funcionamento deste termômetro é que quando o termômetro é aquecido, a mola na parte inferior será aquecida para se expandir, de modo que o ponteiro empurre o ponteiro de posicionamento para girar até a temperatura máxima. Quando a temperatura é reduzida, a mola encolhe e o ponteiro gira na direção inversa, mas o ponteiro de posicionamento permanece na posição de temperatura mais alta. Depois que a porta é aberta, a temperatura indicada pelo ponteiro de posicionamento é lida, ou seja, a temperatura mais alta que o termômetro de superfície atingiu quando aquecida na câmara de vácuo.

8. Fontes de Evaporação Iónica e Sputtering

A fonte de evaporação do plaqueamento múltiplo é geralmente redonda, comumente conhecida como alvo circular. Nos últimos anos, o alvo multi-arco retangular também apareceu, mas nenhum efeito óbvio foi observado. O alvo redondo é montado no suporte do alvo de cobre (suporte do cátodo) e os dois são aparafusados. Há um ímã no suporte de alvo, e a intensidade do campo magnético pode ser alterada movendo o ímã para frente e para trás, e também a velocidade de movimento e a trajetória do ponto de arco podem ser ajustadas dessa maneira também. Para reduzir a temperatura do alvo e do alvo, a água de resfriamento é continuamente fornecida ao alvo. E para garantir alta condutividade elétrica e térmica entre o alvo e o alvo, a junta de estanho (Sn) também pode ser adicionada entre o alvo e o alvo. Além disso, o revestimento de pulverização catódica geralmente utiliza alvos retangulares ou cilíndricos.

9. Sistema de Refrigeração a Água

Para o revestimento do molde, a fim de aumentar a taxa de atomização dos átomos de metal, cada porta-alvo do catodo adota a maior potência possível, o que requer um resfriamento adequado. Além disso, a temperatura de aquecimento de muitos tipos de ferramentas e revestimentos de moldes é de 400 ~ 500 ℃ . Por isso, o arrefecimento da parede da câmara de vácuo e de cada superfície de vedação é também muito importante, pelo que a água de arrefecimento é de preferência fornecida a partir de um refrigerador de cerca de 18 a 20 ° C. Para evitar que as paredes da câmara de vácuo de baixa temperatura e os alvos do cátodo dissolvam a água quando entrar em contato com o ar quente após a abertura da porta, o sistema de resfriamento de água deve poder mudar para o estado de fornecimento de água quente cerca de 10 minutos antes da abertura da porta. A temperatura da água quente é de cerca de 40 ~ 45 ℃.