Classificações de medidores de vácuo

1. Classificados pelo método de calibração a vácuo

(1) Medidor de vácuo absoluto: leia diretamente a pressão do gás. Sua resposta de pressão (escala) pode ser calculada por sua própria geometria ou determinada pela força de medição. Medidores de vácuo absolutos são precisos para todos os gases. Os medidores de libra tipo U, os medidores de compressão e os medidores de radiação térmica pertencem todos aos medidores de vácuo absolutos.

(2) Medidor de vácuo relativo: A pressão é medida pela quantidade relacionada à pressão do gás. Não pode ser dimensionado por cálculos simples e deve ser calibrado para escala. Um medidor de vácuo relativo geralmente consiste em um tubo de manômetro de vácuo (ou cabeçote de manômetro) que funciona como um sensor e um medidor que usa para controle e indicação. A leitura está relacionada ao tipo de gás. Existem muitos tipos de medidores de vácuo relativos, tais como medidores de vácuo de condução de calor e medidores de vácuo de ionização.

2. Classificação por princípio de medição de vácuo

2.1. Medidor de vácuo de medição direta

Este tipo de medidor de vácuo mede diretamente a força por unidade de área, incluindo:

(1) Medidor de vácuo com nível de líquido estático: A pressão é medida pela diferença de nível de líquido em ambas as extremidades do tubo em forma de U.

(2) Medidor de vácuo de elemento elástico: A superfície do recipiente conectado ao vácuo é submetida a pressão para gerar deformação elástica. A magnitude do valor de pressão é medida pela deformação elástica.

2.2. Medidor de vácuo de medição indireta

Quando a pressão é de 10 ^-1 Pa, a força atuando na superfície de 1 cm ² é de apenas 10 ^-5 N, e obviamente é difícil medir uma força tão pequena. No entanto, a mudança na pressão pode ser medida indiretamente com base nas mudanças nas quantidades físicas associadas à pressão do gás a baixa pressão. Este tipo de medidor de vácuo inclui:

(1) Medidor de vácuo de compressão: O princípio é aplicar a lei de Boyle com base no tubo em U, isto é, uma certa quantidade de gás a ser testada é submetida a compressão isotérmica para aumentar a pressão, de modo a ser medida por um medidor de vácuo de tubo em U. Em seguida, calcule a pressão medida usando a relação entre volume e pressão.

(2) Medidor de vácuo de condução térmica: É feito pelo princípio de que a condução de calor de gás sob baixa pressão está relacionada à pressão. Os medidores de vácuo de condução térmica comumente usados são medidores de vácuo de resistência e medidores de vácuo termopar.

(3) Medidor de vácuo de radiação térmica: Usando o princípio de radiação e pressão de calor.

(4) Medidor de vácuo de ionização: O princípio de que as moléculas de gás são impactadas e ionizadas pelas partículas carregadas sob baixa pressão, e a corrente de íons gerada muda com a energia elétrica. Os medidores de vácuo de ionização incluem medidor de vácuo de ionização de catodo quente, medidor de vácuo de ionização de catodo frio, medidor de vácuo de ionização radioativa e assim por diante.

(5) Indicador de tubo de descarga: O grau de vácuo é medido pela condição de descarga de gás e pela natureza da cor e pressão de descarga, e geralmente só pode ser usado como uma medição qualitativa.

(6) Medidor de vácuo viscoso: O princípio de atrito externo é usado para medir a pressão. Incluindo medidor de vácuo de diafragma e manômetro de vácuo com rotor de suspensão magnética.

(7) Microscopia induzida por campo: A pressão é calculada pela relação entre tempo de adsorção e dessorção e pressão.

(8) Medidor de vácuo de pressão parcial: A técnica de espectrometria de massa é usada para medir a pressão parcial do gás misturado. Os medidores comumente utilizados são espectrômetros de massa quadrupolo, espectrômetros de massa de cíclotron e espectrômetros de massa de radiofrequência.