Dados de diferença de cores para revestimento da série cinza/preto
Nov 28, 2020| Dados de diferença de cores para revestimento da série cinza/preto
Pontos problemáticos de materiais-alvo de revestimento da série de aleomia
O material de destino de revestimento da série de aleia Ti-al é geralmente usado para camada de filme funcional. Quando é usado como decoração, há os seguintes problemas: 1. A camada de filme em si tem alto estresse interno, de modo que a adesão da camada de filme à peça de trabalho de superfície curva 3d é pobre. O ajuste proporcional dos elementos Ti e Al no material alvo é difícil de ser realizado na produção de material-alvo. Espera-se que isso seja realizado nos equipamentos de alvo cilíndrico, instalando alvos ti e al na câmara de vácuo e ajustando a relação de potência sputtering, o que reduz consideravelmente o custo do material alvo.
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