Unidade de vácuo ultra-alta da bomba de difusão

Unidade de vácuo ultra-alta da bomba de difusão
O grau de vácuo final da unidade de vácuo ultra-alta com bomba de difusão, pois a bomba principal é 10-7~10-8Pa.
A fim de reduzir a influência da contra-ataque de gás do estágio frontal da bomba de difusão e a contra-ataque do óleo da bomba mecânica de bloqueio no grau de vácuo final, uma bomba de difusão com baixa velocidade de bombeamento pode ser instalada no estágio frontal da bomba de difusão para reduzir a razão de compressão e a difusão traseira. Se o poço de sublimação de titânio for adicionado acima da entrada da bomba de difusão, a pressão parcial de nitrogênio da bomba de difusão pode ser ainda mais reduzida e o vácuo ultra-alto de 10-11Pa pode ser obtido.

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