Materiais experimentais e métodos para o efeito da corrente da fonte de arco na estrutura do filme de estanho

Neste trabalho, filmes finos de TiN foram depositados em substrato de aço inoxidável e wafer Si por multi-arco máquina de revestimento iônico. O efeito da corrente de origem do arco na estrutura e nas propriedades tribológicas dos filmes finos de TiN foi estudado a partir do princípio da galvanização multi-arco.

Materiais e métodos experimentais

O material do substrato é de aço inoxidável (1Cr18Ni9Ti) de 20 mm × 20 mm × 2 mm, com wafers Si. A preparação do filme foi realizada numa máquina de revestimento iónico multi-arco. A amostra foi mecanicamente polida, lavada com álcali, lavada com ultra-som em álcool e finalmente completamente seca em uma câmara limpa de revestimento. Antes do processo de revestimento, o substrato foi limpo por Ar + gravura por 5 min. O caudal de gon gon durante o revestimento foi zero e o caudal fixo de N2 foi de 0,22 SLM / s. Os parâmetros específicos do processo estão listados na Tabela 1.

Tabela 1 Parâmetros do processo de deposição de filme TiN

A morfologia da superfície e a morfologia da superfície da fratura do filme foram observadas por microscopia eletrônica de varredura de emissão de campo (FE-SEM). A dureza do filme de TiN foi medida com um testador de microdureza com a carga de 25 geo tempo de carregamento é de 10 s. O coeficiente de atrito do filme foi medido por dispositivo de laboratório auto-alterado. A amostra de filme de TiN é combinada com o aço A3 para formar um par de pares de atrito. Durante o teste, a amostra superior é fixada, o disco de aço A3 gira em atrito seco, a velocidade de rotação é de 0,87rev / min e a carga experimental é de 1N.