Sistema de alto vácuo

Sistema de alto vácuo
O sistema de alto vácuo é amplamente utilizado e sua faixa de pressão de trabalho é geralmente 1,33×10-2 ~ 1,33×10-3Pa. Os sistemas de bombeamento comuns são:
(1) Sistema de vácuo de bomba mecânica da série de bombas de difusão. Conforme mostrado na Figura 5-2, este sistema pode obter um vácuo de 10-2 ~ 10-5Pa, que geralmente é usado em equipamentos de aplicação com gases de exaustão relativamente pequenos durante a operação. O sistema tem as vantagens de uma estrutura simples, operação confiável e baixo custo. A desvantagem é que o sistema inicia lentamente e o tempo de pré-desenho é longo. O vapor de óleo da bomba de difusão é fácil de retornar para a câmara de vácuo.
(2) bomba de reforço de óleo da série bomba de difusão e, em seguida, sistema de vácuo da bomba mecânica da série. O sistema tem um tempo de pré-sorteio curto, mas um início lento.
(3) bomba de difusão série Roots bomba e, em seguida, sistema de vácuo de bomba mecânica em série. O arranque é lento, mas o tempo de pré-bombeamento é curto.

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