Introdução do controlador de fluxo de massa
Jan 31, 2018| O controlador de fluxo de massa (MFC) é usado para medir e controlar com precisão o fluxo de massa do gás. Geralmente é composto de sensor de fluxo, válvula de controle de fluxo, circuito de controle de amplificação e canal de controle de derivação. Sua fonte de alimentação de trabalho e fluxo de exibição e operações de configuração por sua fonte de alimentação de fluxo de suporte.
Uso e recursos
O MFC desempenha um papel importante na pesquisa e produção científica em muitos campos, como a indústria de microcirônicas de semicondutores, o desenvolvimento de materiais especiais, a indústria química, a indústria do petróleo, a medicina, a proteção ambiental e o vácuo.
As aplicações típicas incluem: equipamentos eletrônicos de processo, tais como difusão, oxidação, epitaxia, DCV, gravura em plasma, pulverização catódica, implantação de íons; e equipamentos de revestimento a vácuo, cromatografia de gás e outros instrumentos analíticos.
Controlador de fluxo de massa e medidor de fluxo de massa com alta precisão, boa repetibilidade, velocidade de resposta rápida, início suave, faixa de pressão de trabalho estável e confiável (que pode funcionar em condições de alta pressão ou vácuo), a operação é fácil de usar. O MFC pode ser instalado em qualquer posição e está conectado ao computador para realizar o controle automático.
O medidor de vazão geralmente é dividido nos seguintes tipos:
1. Medidor de vazão volumétrico
Ele usa o elemento de medição mecânica para dividir continuamente o fluido em uma única parte de volume conhecida. O fluxo de volume do fluido é medido de acordo com o número de vezes do volume de fluido preenchido e descarregado um após o outro em sucessivas da câmara de medição.
2. Fluxômetro (medidor de vazão do rotor)
O medidor de vazão do flutuador é um tipo de medidor de vazão de área variável, em um cone vertical de cima para baixo, a seção transversal circular da gravidade do flutuador é suportada pela energia líquida, de modo que o flutuador pode ser livre no cone.
3. Medidor de vazão de pressão diferencial
Baseia-se na pressão diferencial produzida pelo detector de fluxo instalado no tubo, a condição do fluido conhecido eo medidor para calcular o fluxo entre o tubo e o tubo.
4. Vortex street fluidmeter (VSF)
O gerador de vórtice não-racionalizado é colocado no fluido e o fluido é alternadamente separado em ambos os lados do corpo gerador para liberar duas séries de instrumentos de vórtice entrelaçados regularmente.
5. Medidor de vazão de turbina
É o principal tipo de medidor de vazão de velocidade. Ele usa o rotor multi-lâmina (turbina) para detectar a velocidade média do fluido e deduz o instrumento do volume de fluxo ou quantidade total.
6. Medidor de vazão ultra-sônico
É a medida do fluxo medindo o efeito do fluxo de fluido no feixe ultra-sônico (ou pulso ultra-sônico).
7. Medidor de vazão eletromagnético
O medidor de vazão eletromagnético é um tipo de instrumento para medir a condutividade do líquido de acordo com a lei da indução eletromagnética de Faraday.
8. Medidor de vazão de massa térmica
O sensor do medidor de vazão térmico contém dois elementos sensores, um sensor de velocidade e um sensor de temperatura. Eles podem compensar e calibrar automaticamente a mudança de temperatura do gás. A parte de aquecimento elétrico do instrumento aqueceu o sensor de velocidade para um certo valor superior à temperatura da condição de trabalho, de modo que uma diferença de temperatura constante entre o sensor de velocidade e o sensor na condição de temperatura de trabalho foi formada. Quando a diferença de temperatura é mantida constante, a energia consumida pelo aquecimento elétrico é proporcional ao fluxo de massa do fluxo de gás e é adequada para a medição de um único gás e uma proporção fixa de gás de vários componentes.
