Introdução de Bias
Feb 09, 2018| A tensão de polarização refere-se à tensão negativa aplicada ao substrato durante o processo de revestimento. O terminal positivo da fonte de alimentação de polarização está conectado à câmara de vácuo, enquanto a câmara de vácuo é aterrada. O terminal negativo da tensão de polarização está conectado à peça de trabalho. Como a tensão da Terra geralmente é considerada potencial zero, a tensão na peça de trabalho que é o viés negativo, referido como polarização.
1. Função do viés negativo
◆ Fornecer energia de partículas;
◆ Efeito de aquecimento no substrato;
◆ A remoção do gás e da sujeira gordurosa adsorvida no substrato é benéfica para melhorar a força de ligação do filme;
◆ Ative a superfície do substrato;
◆ Para as partículas grandes no revestimento de íons de arco têm efeito de purificação.
2. Classificação da tensão de polarização
(1) De acordo com a forma de onda pode ser dividido em:
Viés de DC DC pulsado
Polarização de pulso superposição de DC polarização de pulso bipolar
(2) De acordo com a necessidade de mudar a alta tensão e a baixa tensão quando a energia é usada, ela pode ser dividida em:
Diagrama de saída de potência de comutação de alta tensão e baixa voltagem
Não é necessário alternar a saída de regulação contínua contínua de alta e baixa tensão
Parâmetros ajustáveis de alimentação de polarização: amplitude de polarização, taxa de serviço, freqüência e forma de onda.
3. Característica do fornecimento de energia de polarização
◆ O número de extinção de arco por minuto.
◆ Detecção da sensibilidade de arcos grandes (energia de arco detetável mJ / kW).
4. Carga característica do viés
A carga de trabalho do viés é plasma, e o plasma apresenta resistência quando o viés CC é usado. Por outro lado, quando a polarização pulsada é aplicada, o plasma apresenta resistência + capacitiva, que pode ser considerada como uma conexão em série de resistores e capacitores. A essência da capacitância é causada pela bainha de plasma no substrato.
