Introdução do método de operação da máquina de revestimento do vácuo

A máquina de revestimento do vácuo é um instrumento de revestimento que precisa operar em um vácuo mais elevado. É dividido em dois tipos de evaporação e pulverização catódica.

Processo de revestimento de evaporação é geralmente o aquecimento alvo material, o que faz com que os componentes de superfície do material alvo a ser vaporizada por atômica ou forma de íon e depositado na superfície do substrato, formando a película fina através do processo de filme formação.

Revestimento de pulverização catódica pode ser entendida simplesmente como o uso de elétrons ou laser de alta energia para o bombardeamento do alvo e fazer com que os componentes de superfície do alvo ser pulverização catódica sob a forma de átomos ou íons e eventualmente depositado na superfície do substrato, formando a película fina através do processo de formação de filme.

Use as etapas:

1. operação método de armário de controle eletromecânico de revestimento do vácuo

(1) Abra a fonte de ar e bomba de água.

(2) Ligue a energia principal.

(3) abrir a fonte de alimentação da bomba de exploração e medidor de vácuo, o vacuômetro posição V1, esperar pelo seu valor de menos de 10 e em seguida, digite a seguinte operação. Provavelmente precisa de cinco minutos.

(4) Ligue a bomba mecânica, o pre-bombeamento, abra a fonte de alimentação turbo bomba molecular e inicie a bomba molecular. O interruptor do vacuômetro é alterado para a posição de V2. Depois que o grau do vácuo é bombeado para menos de 2, parar de bombear, e vai demorar 20 minutos.

(5) quando as leituras da bomba turbina molecular são observadas para chegar a 250, o bombeamento de pré está fechado, em seguida, abra a revestimento protetor da bomba e válvulas de vácuo elevadas continuam a evacuar. Somente após o vácuo atinge 2 × 10-3, fonte de alimentação da arma eletrônica pode ser girado sobre.

2. operação de máquina de revestimento do vácuo

(1) liga a energia principal.

(2) ao mesmo tempo, abra o controle eletrônico de arma I e II fonte de alimentação: de acordo com o controle eletrônico de arma, poder, interruptor do atraso e então a luz demora, energize lâmpada e proteção de luz, luz. Após três minutos desligar a lâmpada de luz e proteção de atraso. Se não fechar a porta de trás ou o relé de fluxo está com defeito, a luz de proteção será sempre sobre.

(3) abrir a alta pressão, alta pressão irá atingir mais de 10KV, ajustar o feixe sobre 200mA, a grade do escudo é 20V / 100mA, filamento 1.2 a corrente, a corrente de deflexão swing 1 ~ 1.7.

3. desligamento sequência da máquina de revestimento do vácuo

(1) Desligue o equipamento medidor e bomba molecular.

(2) quando a bomba molecular mostra até 50, a válvula de vácuo elevada, bomba e bomba mecânica de apoio são fechados em sequência. Provavelmente precisa de 40 minutos.

(3) quando a bomba molecular mostra menos de 50, feche a bomba de exploração.