O conhecimento de manutenção e reparação de bomba de difusão para máquina de revestimento a vácuo PVD
Oct 18, 2018| O conhecimento de manutenção e reparação de bomba de difusão para máquina de revestimento a vácuo PVD
As partes principais da máquina de revestimento a vácuo podem operar nas melhores condições , o que é muito importante para a manutenção e reparo da bomba de difusão da máquina de revestimento a vácuo.
1. A água de resfriamento deve ser desbloqueada durante a operação da bomba de difusão, e a água de resfriamento pode ser fechada após o fluido de trabalho da bomba ter sido completamente resfriado após o término do aquecimento.
2. Quando a bomba de difusão deixar de funcionar, a bomba deve ser mantida sob vácuo para evitar a deterioração do óleo .
3. O gás bombeado deve estar seco, livre de corrosão e livre de poeira.
4. Se a bomba de difusão não for usada por enquanto, ela deve ser mantida em um estado de vácuo durante o armazenamento para evitar a poluição por óleo da bomba e a corrosão de cada peça e soprar a água restante na água de resfriamento. Mantenha a temperatura ambiente entre 10 e 40 graus Celsius .
5. O desempenho da bomba de difusão deteriora-se gradualmente após o funcionamento a longo prazo e deve ser verificado regularmente. Se o óleo da bomba for reduzido ou oxidado, reabasteça-o ou substitua-o de acordo com os requisitos correspondentes; As peças e as câmaras de bomba são limpas com gasolina de aviação, depois esfregadas com acetona e secas a 80 a 100 graus Celsius ou secas com um secador de cabelo. Após o tratamento, monte em ordem, mantenha o núcleo da bomba e o fundo da bomba perpendiculares à cavidade da bomba e ajuste a folga do bico de acordo com os requisitos originais.
6. Quando a água evapora e seca, o núcleo da bomba é instalado, novo óleo da bomba de difusão é adicionado, o corpo é instalado, o tubo de água é conectado e a placa do forno elétrico é instalada, então a bomba pode ser ligada novamente .
7. Preste atenção à detecção de vazamentos antes de iniciar novamente. O método é: inicie a bomba de manutenção, feche a porta e, após alguns minutos, observe o grau de vácuo e verifique se a junta de vedação de vazamento da junta ou o anel de vedação de esmagamento. Remova o risco de vazamento de ar antes de aquecer, caso contrário o óleo da bomba de difusão queimará, incapaz de entrar no estado de trabalho.



