Novo Progresso da Tecnologia de Limpeza Ultrassônica

1. limpeza ultra-sônica de alta freqüência

Para partículas de sujeira ultrafinas tão pequenas quanto alguns micrômetros na superfície de uma pastilha de silício, os limpadores ultrassônicos convencionais não podem fazer nada, mesmo que o aumento da densidade de potência não ajude. Recentemente, foi desenvolvida uma tecnologia de limpeza ultra-sônica de alta freqüência com nível de megahertz. Devido à alta frequência, o efeito de cavitação não é mais efetivo. Portanto, a chave para a limpeza não é a bolha de ar, que é a ação de lavagem da onda de pressão de alta frequência, e a taxa de remoção da sujeira está próxima de 100%. A limpeza de alta frequência desenvolveu-se rapidamente recentemente e é usada principalmente para limpeza de sujeira em chips de circuito integrado de escala ultralarga, bem como na limpeza de sujeira especial, como pastilhas de silício, cerâmicas e fotomáscara.

2. limpeza focada

Para a limpeza de objetos microporosos como fieiras e filtros na indústria têxtil, o efeito convencional de limpeza ultra-sônica é muito insatisfatório e a intensidade do som não atende aos requisitos, enquanto a limpeza mecânica focada é usada e a contaminação no micropore da fieira é muito óbvio. A limpeza focalizada requer alta intensidade sonora e a frequência atualmente selecionada é principalmente de baixa frequência. Comumente usado 20kHz e 15kHz dois tipos de freqüência, ea frequência do indivíduo também é 28kHz, sua energia elétrica é geralmente 500-700W na situação de onda contínua, a condição de trabalho do pulso de intervalo, o poder pode ser maior.

3. limpeza multi-frequência

Em um tanque de limpeza, dois ou mais transdutores com freqüências diferentes são instalados e vários geradores acionam os transdutores das respectivas freqüências. Quando a freqüência de operação da lavadora é alta, a força de cavitação do líquido é baixa e a densidade de cavitação é alta, mas o oposto ocorre quando a freqüência de operação é baixa. A onda ultra-sônica de baixa frequência tem alta intensidade e é favorável para a limpeza da superfície do objeto. A densidade de cavitação ultra-sônica de alta freqüência é alta, e a onda de choque pode penetrar através de estruturas finas como ranhuras, fendas e furos profundos. Ao mesmo tempo, o problema de limpeza desigual causado pela limpeza de frequência única é superado.

4. Frequência de varredura e limpeza de salto de frequência

Freqüência de varredura e limpeza de salto de freqüência são todos destinados a melhorar a estrutura do campo de som no slot. O primeiro resolve o campo de ondas irregulares na ranhura e torna a limpeza uniforme, enquanto o salto de frequência e a multifrequência levam em consideração a limpeza de alta e baixa frequência. A diferença é que o salto de frequência usa um transdutor e um gerador, e o próprio transdutor tem duas frequências ressonantes.