Bomba de descompressão
Oct 10, 2023| Bomba de descompressão
A bomba de pré-bombeamento (bomba de bombeamento grossa) é usada principalmente para remover um grande número de gases na câmara de vácuo, de modo que a pressão do gás na câmara de vácuo seja reduzida da pressão atmosférica para o grau de vácuo quando a bomba principal pode iniciar trabalhando, portanto, a pressão alcançada pela bomba de pré-bombeamento deve ser menor que a pressão de trabalho inicial da bomba principal, e a velocidade de bombeamento da bomba de pré-bombeamento selecionada pela unidade é determinada pelo tempo de bombeamento grosso. Para melhorar a taxa de utilização da unidade de vácuo, a bomba de pré-bombeamento pode ser usada como pré-bomba e a válvula de vácuo é usada para separar e alternar entre as duas funções de bombeamento diferentes.
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