Fonte de alimentação de pulverização catódica de magnetron pulsado

Aug 25, 2020|

A fonte de alimentação de pulverização catódica pulsada adota uma tensão de onda retangular, que pode efetivamente suprimir a geração do arco e eliminar os defeitos do filme causados ​​por ele, e ao mesmo tempo pode melhorar a taxa de deposição e reduzir a temperatura de deposição e uma série de vantagens significativas, tornando é uma fonte de energia preferida para a deposição de materiais de isolamento por pulverização catódica.
Existem dois estágios de tensão positiva e tensão negativa em um ciclo. Na seção de tensão negativa, a fonte de alimentação funciona na pulverização catódica do material alvo, e a seção de tensão positiva é introduzida

ZY-1011 PVD vacuum coating machine

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