Inspeção e espessura de revestimento PVD
Dec 15, 2018| Inspeção e espessura de revestimento PVD
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Espessura de revestimento refere-se à superfície exterior do revestimento e a distância para a superfície do substrato sob o revestimento, geralmente em 0 ~ 15um, existem muitos métodos de deteção, a seguir introduz a aplicação atual dos métodos mais comuns: Cruz método de seção, marca esférica método e método não-destrutivo de deteção.
1. método da seção
Seção é um método de deteção destrutiva, a peça de trabalho não pode ser usada novamente. Testará a peça de trabalho ou a amostra ao longo da secção de revestimento corte, sob o microscópio 1000 ~ 10000 vezes maior para medição, quanto maior o fator de ampliação, quanto menor o impacto dos fatores humanos, quanto maior a precisão. A fronteira entre o revestimento e o substrato é muito óbvia, e é conveniente medir pela escala em sem. A distância entre pontos terminando e começando do governante é a espessura do revestimento. Se a medição é exata ou não é para julgar corretamente o limite entre o revestimento e o substrato, caso contrário trará erros. Se a interface entre o revestimento e o substrato é difusa, é melhor não usar este método de medição. Em geral, este método de medição é intuitiva e precisa. Além disso, quando este método é usado para a medição, é melhor observar a seção, que deve ser relativamente plana. Caso contrário, processamento manual deve proceder para fazer a seção mesmo para observação e medição.
Espelho de óleo também pode ser usado para observar a seção de revestimento para a medição. A amostra cortada é colocada em pó de plástico para prensagem, queima e formação em uma amostra de bloco, então a superfície testada é moída e a superfície testada é moído e nivelado. Durante a medição, o ar bombeado do óleo é medido entre a lente objetiva e a superfície medida para reduzir a interferência.
2. Bola-cratera
Bola marca método é usar um determinado diâmetro da esfera de aço na superfície do revestimento de moedura, revestimento e matriz de moagem para fora de um poço, bola seção de instrumento para um arco de moagem. Os requisitos de operação a moagem são as mesmas que as do teste de marca de bola, que mede a aderência do revestimento. Depois da bola de moagem, a imagem é observada ao microscópio através do sistema de geração de imagens e sob o monitor.
A aparência da peça será danificada pelo método de marca de bola. Se o ponto de deteção não estiver na área funcional, geralmente não afetará sua reutilização. No entanto, para evitar erros, é necessário discutir com e obter o consentimento do proprietário artefato antes de testar com este método.
3. testing(NDT) não-destrutivos
Método de ensaio não destrutivo é detectar a espessura do revestimento na peça de trabalho sem danificar a peça de trabalho. Existem muitos tipos de métodos NDT, em geral, testes não destrutivos precisa fornecer o substrato e a composição do revestimento, ou fornecer o pedaço de amostra do revestimento para analisar os dados de referência, no teste, será medido e revestimento composição composição comparar com blocos de amostra mestra para deduzir a teoria da espessura do revestimento, assim, para diferente substrato e revestimento a análise da composição, fazer medição de programa e depois para a medida real. Claro, alguns instrumentos podem ser medidos diretamente sem fazer blocos da amostra, mas o erro é grande. Esta seção apresenta, principalmente, fluorescência de raios-x (XRF).
Instrumento XRF é composto principalmente de sistema de fonte e deteção de excitação de raio x. Tubo de raio X produzem raios de raios-x com base) (radiação ou sucesso peça a ser medida, cada elemento da peça a ser medida é motivados, secundários raios X emitidos e secundários raios emitidos pelos elementos diferentes, com características de energia específica (ou seja, de acordo com a energia característica secundária raios tipos e conteúdo dos elementos pode aprender). O sistema de detecção mede a energia e a quantidade destes raios secundários animados. O software de detecção de sistema converte a energia detectada e quantidade informações em elementos correspondentes e conteúdo, para que podem ser detectados o tipo e o conteúdo dos elementos na peça de trabalho sob teste. Usando o princípio de fluorescência de raios-x, cada elemento na tabela periódica podem ser medido teoricamente. No entanto, na aplicação prática, o intervalo de medição elemental eficaz é de elemento 11, sódio (Na), elemento 92, urânio (U).
De acordo com os princípios acima referidos, quando se mede a espessura da camada da amostra, XRF analisa a composição de elemento da matriz e revestimento respectivamente. Geralmente, o elemento de composição do revestimento é muito diferente da matriz. Portanto, o software de cálculo pode calcular a espessura do revestimento. Se o elemento de composição de vários substratos e revestimentos é detectado separadamente em avanço e armazenado no banco de dados de computador como um padrão, deteção de XRF, a composição de elemento detectado é comparada com o padrão para encontrar a matriz correspondente e tipo de revestimento e julgar a interface entre o revestimento e o substrato, a fim de medir a espessura do revestimento com mais precisão.