Método de pré-limpeza PVD 5 limpeza ultravioleta e ozônio
Jul 07, 2021| Método 5 de pré-limpeza PVDlimpeza ultravioleta e ozônio
Método de limpeza: método de limpeza ultravioleta e ozônio
Objetivo da limpeza: remover matéria orgânica, como gordura móvel
Meios de limpeza: ação física e química por raios ultravioleta e ozônio
Processo de limpeza: este método é usado como o processo de pós-tratamento dos métodos acima. O processo consiste em colocar o substrato sob o irradiador ultravioleta de baixa pressão e o gerador de ozônio com radiação ultravioleta para o ozônio por vários segundos. A intensidade ultravioleta é de 1,6mW / cm2 nos 5mm do substrato, e o gerador de ozônio está a cerca de 6cm do substrato.
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