Várias fontes de energia em tecnologia PVD-Magnetron sputtering fonte de alimentação
Aug 22, 2020| Várias fontes de energia em tecnologia PVD-Magnetron sputtering fonte de alimentação
A tecnologia de sputtering magnetron desenvolvida por saltos e saltos na década de 1970, experimentando principalmente vários estágios marcantes, como espremedores de magnetron equilibrados, sputtering magnetron não balanceado, sputtering reativo e co-sputtering, magnetron pulsado sputtering. De acordo com o tipo de fonte de energia usada pela sputtering magnetron, a tecnologia de sputtering magnetron pode ser dividida em sputtering de magnetron DC, sputtering de magnetron de frequência intermediária, sputtering rf magnetron e sputtering ímã de pulso.
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