A composição da máquina de revestimento por evaporação por feixe de elétrons

A composição da máquina de revestimento por evaporação por feixe de elétrons

A máquina de revestimento por evaporação por feixe de elétrons consiste principalmente em sistema de controle, sistema de trajetória de ar real e sistema de pistola de elétrons. 1. Existem duas bombas no caminho do ar de vácuo do caminho real do ar da máquina de revestimento por evaporação por feixe de elétrons, a saber, a bomba mecânica do estágio frontal e a bomba criogênica de alto vácuo, entre as quais a função da bomba criogênica é principalmente através da temperatura muito baixa, de acordo com à adsorção original do guarda-chuva frio para atingir o objetivo do vácuo. No processo de inicialização da bomba de alto vácuo a baixa temperatura, o nível da bomba mecânica estará antes da tubulação no estado de vácuo, quando a tubulação de vácuo atingir uma certa extensão, a válvula auspiciosa será aberta, esse nível antes da bomba mecânica continuar Para funcionar, faça com que o tubo e a bomba de baixa temperatura tenham um estado de vácuo; então, uma válvula de estágio anterior está repetindo as etapas acima. {{2}}. Fonte de aquecimento e evaporação do feixe de elétrons A fonte de evaporação do feixe de elétrons é composta principalmente de pistola de elétrons e cadinho. Se necessário, pode ser anexado um conjunto de equipamentos mecânicos que podem fornecer matérias-primas para a máquina de revestimento. Na maioria dos casos, o dispositivo de controle que produz e controla o feixe de elétrons e o design do cadinho será integrado à máquina de revestimento. A seguir, são apresentadas várias estruturas das fontes de aquecimento e evaporação do feixe de elétrons. O evaporador aquecido por cátodo linear e foco eletrostático. (2) o evaporador aquecido por cátodo anular e foco eletrostático. O evaporador aquecido por pistola axial e foco remoto eletrostático. O evaporador aquecido por pistola axial, foco magnético e deflexão magnética 90 graus. O evaporador de pistola do tipo E, a fonte de evaporação do feixe de elétrons do tipo E emitida pela trajetória de elétrons é semelhante à 0010010 E 0010010 ; palavra, por isso é referido como E arma. Atualmente, esta forma de fonte de evaporação é mais amplamente usada no processo de evaporação a vácuo e revestimento.

IKS-OPT 2700 máquina de revestimento a vácuo com pistola eletrónica E，Para mais detalhes, entre em contato com:iks.pvd@foxmail.com