O revestimento sputtering pode ser dividido em:
Mar 11, 2021| O revestimento sputtering pode ser dividido em:
Sputtering de dipolo dc: aplicável apenas a filmes condutores
Sputtering de tripole dc: aplicável apenas a filmes condutores
Sputtering quadrupole dc: só aplicável a filme condutor
Sputtering de radiofrequência: usando fonte de alimentação de radiofrequência, pode ser banhado óxido de silício, materiais de alumina
Alvo oposto: pode aumentar a taxa de deposição e fazer filmes de ferro magnético, níquel e outros filmes de liga magnética
Feixe de íons (IBS) sputtering: Emissão de íons de uma fonte de íons
Magnetron sputtering:
O analisador de enxofre de carbono é baseado no sputtering do dipolo DC, e o aço magnético é colocado atrás do material alvo, usando emissão de luz de arco
Eletricidade, usada como fonte de evaporação.
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