Sistema de vácuo ultra-alto

Sistema de vácuo ultra-alto

Um sistema de retenção a frio da série de bombas mecânicas da série de bombas de difusão
A Figura 5-13 mostra o sistema de vácuo, a bomba de difusão série dois, armadilha fria de nitrogênio líquido, e a câmara de vácuo e a armadilha fria 6 podem suportar cozimento de 400 ~ 450 graus. A esta temperatura, o gás adsorvido na parede da câmara de vácuo e na parede do coletor de frio, e o óleo condensado da bomba podem ser removidos. O sistema geralmente pode obter um vácuo limite de 1,33×10-7Pa.

▲ Figura 5-13 Sistema de ultra-alto vácuo da bomba de difusão de óleo: 1- Câmara de vácuo 2- Medidor de vácuo do termopar 3-Medidor de vácuo BA 4- Válvula de purga {{7} } Válvula de ultra-alto vácuo 6,7- coletor de frio 8- medidor de vácuo de ionização 9- Bomba de difusão 10- válvula de tubo frontal 11- coletor frontal 12- Válvula solenóide 13- Bomba mecânica 14- válvula de tubo de ultra-alto vácuo 15- dispositivo de cozimento

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