Revestimento de pulverização catódica não balanceada

Revestimento de pulverização catódica não balanceada
A pulverização catódica desequilibrada do magnetron refere-se ao fluxo magnético desigual dos pólos magnéticos dentro e fora do cátodo. O papel de um campo magnético desequilibrado é prender elétrons secundários em movimento rápido que escapam da superfície do alvo. Esses elétrons ionizam com átomos de gás neutro longe da superfície do alvo e produzem mais íons e mais elétrons na região do substrato, aumentando muito o bombardeio de íons do substrato. Devido ao desenvolvimento da pulverização catódica desequilibrada do magnetron, a qualidade dos filmes finos foi muito melhorada.

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