Quais são as cinco etapas da reação CVD
Jul 20, 2020| Quais são os cinco passos da reação CVD?
(1) Os pré-reagentes de diferentes componentes na fase gasosa vêm do gás principal e transferem a superfície do substrato pelo mecanismo de difusão. Idealmente, a concentração do precursor no substrato é zero, o que significa que o substrato reage imediatamente, o que não é o caso.
(2) Os pré-reagentes são adsorvidos no substrato, e os pré-reagentes ainda podem realizar um grau limitado de movimento lateral da superfície no substrato.
(3) Os precursores passam por uma reação química no substrato para produzir moléculas químicas no sedimento e, depois da acumulação, nucleação, migração, crescimento e outras etapas, uma membrana contínua é finalmente combinada.
(4) adsorver o excesso de precursores e produtos de gás não nucleados.
(5) O gás adsorvido é transmitido para a fase principal do gás pelo mecanismo de difusão e é descarregado após a transmissão.
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