Características e classificação de unidade de vácuo ultra-alta

Características e classificação de unidade de vácuo ultra-alta

As unidades de vácuo ultra-altas que trabalham acima de 10-5Pa incluem bomba de difusão, unidade de vácuo ultra-alta da bomba molecular e unidade de vácuo ultra-alta sem óleo. A unidade tem as seguintes características:
(1) o grau de vácuo final da bomba principal é alto, acima de 10-7~ 10-8Pa;
(2) pode suportar cozimento de alta temperatura de 200~450°C;
(3) A pressão parcial do gás de refluxo na bomba principal é muito baixa;
(4) a ser bombeado gás de bomba principal forte e forte, a ser equipado com uma bomba auxiliar grande o suficiente;
A taxa de saída de material da câmara de vácuo, tubo, válvula e outros componentes é muito baixa, e a taxa de vazamento de ar é muito pequena.

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