Método de limpeza em tecnologia de vácuo- limpeza de descarga

Método de limpeza em tecnologia de vácuo- limpeza de descarga

A limpeza de descarga é geralmente usada na limpeza do sistema de vácuo de alto vácuo e ultra-alto. O uso de elétrons para bombardear gases causa desorção e remoção de certos hidrocarbonetos. O efeito da limpeza da descarga depende do material do motor, da geometria e de sua relação com a superfície.

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