dessorção e desgaseificação de alta temperatura do cozimento para melhorar o vácuo da câmara

1) dessorção e desgaseificação em alta temperatura do cozimento para melhorar o vácuo da câmara: o sistema de vácuo precisa obter um vácuo ultra-alto acima de 10-9 torr, o que só pode ser alcançado por bombeamento contínuo por vários dias ou até semanas à temperatura ambiente. Ao aquecer e assar o sistema de vácuo ou algumas partes do sistema, a taxa de dessorção das moléculas de gás na superfície sólida pode ser acelerada. O vácuo da câmara é geralmente aumentado em 1-2 ordens de magnitude após o cozimento ter sido reduzido à temperatura ambiente.

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