Revestimento de pulverização por feixe de íons
Jan 25, 2022| Revestimento de pulverização por feixe de íons
Ion beam sputtering (IBS) é uma técnica de deposição de filme fino que usa uma fonte de íons para depositar um alvo de sputtering em um substrato para produzir filmes finos da mais alta qualidade com excelente precisão. Comparado com outros métodos de pulverização catódica, a pulverização por feixe de íons tem maior precisão e pode controlar com precisão a espessura do substrato. O feixe de íons normalmente produzido por uma pistola de íons é focado no alvo de pulverização, e o material alvo de pulverização é eventualmente depositado no substrato para formar um filme fino.
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