Medidores de Vácuo Compatíveis e Controladores CDG025D 0.1 ~ 1000 Torr / mbar
INTRODUÇÃO A linha de medidores de diafragma de capacitância INFICON SKY CDG025D de manômetros de alta precisão com compensação de temperatura é projetada para desempenho estável em ambientes de ferramentas de fabricação agressivas. A eletrônica digital avançada melhora o desempenho do medidor e oferece recursos de fácil manuseio, como ...
- Introdução de Produto
INTRODUÇÃO
A linha de medidores de diafragma de capacitância INFICON SKY CDG025D de manômetros de alta precisão com compensação de temperatura é projetada para desempenho estável em ambientes de ferramentas de fabricação agressivas. A eletrônica digital avançada melhora o desempenho do medidor e oferece recursos fáceis de manuseio, como a função de zero botão de pressão e o ajuste do ponto de ajuste. O sensor cerâmico resistente à corrosão oferece excelente estabilidade zero com uma expectativa de vida útil longa de vários milhões de ciclos de pressão, incluindo rajadas atmosféricas. Uma proteção exclusiva do sensor (patente pendente) protege o medidor da contaminação do processo. Um design mecânico robusto e eletrônica digital melhoram a compatibilidade EMC, estabilidade a longo prazo e compensação de temperatura. O CDG025D estabelece novos padrões para estabilidade rápida após a ativação e recuperação rápida da exposição à pressão atmosférica.
Os medidores de diafragma de capacitância INFICON SKY CDG025D são substitutos diretos dos transmissores Oerlikon Leybold CTR 100. Obtenha o original do fabricante com suporte global e soluções para todos os aplicativos.
BENEFÍCIOS
◆ Totalmente compatível com transmissores CTR 100
◆ A escala completa varia de 100 mTorr… 1000 Torr
◆ Estabilidade rápida após ligar
◆ Recuperação rápida da pressão atmosférica
◆ Sensor cerâmico resistente à corrosão
◆ Excelente estabilidade de sinal a longo prazo
◆ Temperatura compensada
◆ Sensor protegido contra contaminação
◆ Uma função de zero botão
◆ ampla faixa de alimentação
APLICAÇÕES TÍPICAS
◆ equipamento de fabricação de semicondutores para Etch, CVD, PVD, ALD
◆ Equipamento de fabricação de armazenamento e exibição de dados
◆ Equipamento de vácuo industrial
◆ Medição de pressão geral de alta precisão
ESPECIFICAÇÃO
| Tipo | 1000 Torr / 1100 mbar | 500 ... 10 Torr / mbar | 1 Torr / mbar | 0,25 Torr | 0,1 Torr / mbar | |
| Precisão | % de ler | 0,2 | 0,2 | 0,2 | 0,25 | 0,5 |
| Efeito de temperatura | ||||||
| no zero | por cento FS / ° C | 0,005 | 0,005 | 0,015 | 0,02 | 0,02 |
| no vão | % de leitura / ° C | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,03 | 0,03 |
| Resolução | por cento FS | 0,003 | 0,003 | 0,003 | 0,003 | 0,003 |
| Pressão máx. | kPa (absoluto) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
Tempo de resposta | Senhora | 30 | 30 | 30 | 130 | 130 |
| Leitura mais baixa | por cento FS | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 |
| Menor sugestão de leitura | por cento FS | 0,05 | 0,05 | 0,05 | 0,05 | 0,05 |
| Pressão de controle sugerida mais baixa | por cento FS | 0,5 | 0,5 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
| Temperatura | ||||||
Operação (ambiente) | ° C | +5… +50 | +5… +50 | +5… +50 | +5… +50 | +5… +50 |
| Bakeout no flange | ° C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| Armazenamento | ° C | –40… +65 | –40… +65 | –40… +65 | –40… +65 | –40… +65 |
| Tensão de alimentação | V (dc) | +14… +30 | +14… +30 | +14… +30 | +14… +30 | +14… +30 |
Poder consumo | W | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
Sinal de saída (analógico) | V (dc) | 0… +10 | 0… +10 | 0… +10 | 0… +10 | 0… +10 |
Grau de protecção | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | |
| Padrões | ||||||
| Conformidade CE | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 e RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 e RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 e RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 e RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 e RoHS | |
| Certificação ETL | UL 61010‑1, CSA 22.2 No. 61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No. 61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No. 61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No. 61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No. 61010‑1 | |
Elétrico conexão | D-sub, 15 pole, masculino | D-sub, 15 pole, masculino | D-sub, 15 pole, masculino | D-sub, 15 pole, masculino | D-sub, 15 pole, masculino | |
| Materiais expostos a vácuo | Alumínio cerâmica de óxido (AI2O3), Vacon 70, aço inoxidável (AISI 316L), AgCuTi hard solda, vidro de vedação | Alumínio cerâmica de óxido (AI2O3), Vacon 70, aço inoxidável (AISI 316L), AgCuTi hard solda, vidro de vedação | Alumínio cerâmica de óxido (AI2O3), Vacon 70, aço inoxidável (AISI 316L), AgCuTi hard solda, vidro de vedação | Alumínio cerâmica de óxido (AI2O3), Vacon 70, aço inoxidável (AISI 316L), AgCuTi hard solda, vidro de vedação | Alumínio cerâmica de óxido (AI2O3), Vacon 70, aço inoxidável (AISI 316L), AgCuTi hard solda, vidro de vedação | |
| Volume interno | ||||||
| Tubo 1/2 '' | cm³ (in.³) | 3,6 (0,22) | ||||
| DN 16 ISO KF | cm³ (in.³) | 3,6 (0,22) | ||||
| DN 16 CF-R | cm³ (in.³) | 3,6 (0,22) | ||||
| 8 VCR® | cm³ (in.³) | 3,6 (0,22) | ||||
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