Controlador de Fluxo de Massa de Uso Geral - MKS 1179C
O 1179C é um controlador de fluxo de massa para fins gerais projetado para medir e controlar o fluxo de gases em uma ampla variedade de aplicações. Os controladores de fluxo de massa 1179 estão disponíveis com intervalos de escala total de 10 sccm a 20 slm, proporcionando um controle de fluxo rápido e repetitivo ...
- Introdução de Produto
INTRODUÇÃO
O 1179C é um controlador de fluxo de massa para fins gerais projetado para medir e controlar o fluxo de gases em uma ampla variedade de aplicações. Os controladores de fluxo de massa 1179 estão disponíveis com faixas de Escala Total de 10 sccm a 20 slm, fornecendo controle de fluxo rápido e repetitivo para até 0,2 sccm. Também pode ser usado como controlador de pressão quando conectado a um transdutor de pressão adequado.
O 1179C é um substituto de função de ajuste de forma direta para os MFCs mais comuns no mercado atualmente. O espaço padrão de 3 polegadas permite que o 1179C caia diretamente no mesmo espaço sem modificar as linhas de gás existentes. Os conectores elétricos são os mesmos conectores Tipo “D”, com os mesmos pinos, sinais e funções que suas contrapartes da indústria, portanto, nenhum religamento por cabo ou conector é necessário. A 1179C é compatível com a fonte de alimentação MFC e os dispositivos eletrônicos de exibição da MKS ou de outros fabricantes.
CARACTERÍSTICAS E BENEFÍCIOS
◆ O design patenteado de 1 sensor oferece excepcional estabilidade zero
◆ O fluxo de escala completa varia de 10 sccm a 20 slm para medição e controle de vazão precisos e repetíveis
◆ Porcentagem da precisão de Full Scale para configurações analógicas
◆ Tempo de aquecimento rápido minimiza o tempo de inatividade de produção caro
◆ Compatível com MKS MFC anterior e fonte de alimentação / módulos de leitura
◆ Projeto e testes rigorosos incluem análise MTBF e testes STRIFE para garantir desempenho de longo prazo
◆ O acabamento superficial de superfícies inoxidáveis molhadas, o processamento de salas limpas e o uso mínimo de vedações de elastômero permitem o uso em processos limpos e exigentes
◆ garantia de dois anos garante a qualidade e satisfação do cliente
ESTRUTURA
Um diagrama de seção transversal de um Controlador de Massa-Flo 1179C
Precisão de Fluxo e Repetibilidade
O gráfico acima mostra a precisão típica de fluxo e a repetibilidade de MFCs analógicos na família 1179C. As medições foram feitas usando o Calibrador de Fluxo Padrão Primário Mackies ® Califlow durante um período de 10 dias.
Estabilidade Zero
O gráfico acima mostra a excelente estabilidade de zero e amplitude do sensor 1179C usado na família 1179. Os instrumentos foram ligados e testados aleatoriamente para desvios de zero e intervalo ao longo de um período de 19 meses.
ESPECIFICAÇÃO
| Faixas de escala completa (equivalente a N 2) | 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm | |
| Pressão Máxima de Entrada | 150 psig | |
Pressão operacional normal Diferencial (com atmosfera pressão na tomada do MFC) | 10 a 5000 sccm | 10 a 40 psid |
| 10000 a 30000 sccm | 15 a 40 psid | |
| Faixa de controle | 2% a 100% do FS | |
Precisão (analógica) (incluindo não linearidade, histerese e não repetibilidade) referenciado a 760 mmHg e 0 ° C) | ± 1,0% do FS | |
| Repetibilidade | ± 0,2% do FS | |
| Resolução | 0,1% do FS | |
| Coeficientes de temperatura | Zero | <0,05% de="" fs="" °=""> |
| Período | <0,08% do=""> | |
| Tempo de aquecimento (dentro de 0,2% do FS do desempenho em estado estacionário) | <2> | |
| Tempo de Liquidação do Controlador (conforme a Diretriz SEMI E17-91) | <2> | |
| Coeficiente de pressão | <0,02% da=""> | |
| Faixa de temperatura operacional normal | 0 ° C a 50 ° C | |
| Tensão de entrada necessária | Max. corrente no arranque (primeiros 2 segundos) | ± 15 VDC (± 5%) a 200 mA |
| Corrente típica em estado estacionário | ± 15 VCC (± 5%) a 100 mA | |
| Sinal de comando do ponto de ajuste | 0 a 5 VDC de <20k> | |
| Sinal de saída | 0 a 5 VDC em> 10K Ω | |
| Impedância de Saída | <1> | |
Tipos de conectores Analógico | Tipo “D” de 9 pinos ou 15 pinos (O conector tipo “D” de 15 pinos é eletronicamente compatível com outros controladores de fluxo MKS . Consulte a Engenharia de Aplicações para mais detalhes.) | |
| Materiais molhados | Padrão | 316L SS, Viton ®, níquel |
| Opcional (vedações e sede da válvula) | Buna-N, Neoprene ®, Kalrez ® | |
| Integridade de Vazamento | Externo (scc / sec He) | <1 x="" 10=""> |
| Através de válvula fechada | <1,0% de="" fs="" a="" 40="" psig="" de="" entrada="" para=""> (Para garantir que não haja fluxo, é recomendável uma válvula de desligamento positiva separada.) | |
| Acessórios (compatível com) | Swagelok ® 4 VCR ®, Swagelok ® 4 VCO ®, ¼ '' Swagelok | |
| Conformidade | CE | |
DESENHO DIMENSIONAL
Nota: A menos que especificado de outra forma, as dimensões são valores nominais em polegadas (mm referenciadas).
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