Controlador de Fluxo de Massa de Baixa Pressão ΠMFC - PFC-20
O controlador de fluxo de massa πMFC PFC-20 de Baixa Pressão fornece o máximo aproveitamento dos gases de Fonte de Entrega Segura. A implementação do πMFC de baixa pressão aumenta o tempo de atividade da ferramenta, reduzindo a frequência das mudanças no cilindro de gás de origem. Oferece controle preciso e preciso de baixo consumo de gás ...
- Introdução de Produto
INTRODUÇÃO
O controlador de fluxo de massa πMFC PFC-20 de Baixa Pressão fornece o máximo aproveitamento dos gases de Fonte de Entrega Segura. A implementação do πMFC de baixa pressão aumenta o tempo de atividade da ferramenta, reduzindo a frequência das mudanças no cilindro de gás de origem. Ele oferece controle preciso e preciso de baixos fluxos de gás em uma ampla faixa de pressão com uma pressão de fornecimento de gás de fonte tão baixa quanto 4 Torr.
Este πMFC é o mais recente em produtos MKS projetados especificamente para os gases de origem SDS e VAC ® que atendem à indústria de implantação de íons. Os designs patenteados de válvulas e sensores oferecem excepcional estabilidade e precisão zero para todas as condições de fluxo, mantendo a capacidade de atingir rapidamente o ponto de ajuste e controlar repetidamente o fluxo de gás. As E / S de tamanho e controle MFC de tamanho padrão são compatíveis com linhas de gás existentes para fácil integração e operação.
CARACTERÍSTICAS E BENEFÍCIOS
◆ Maximiza a utilização de gás de origem SDS, reduzindo as mudanças de garrafa, resultando em maior tempo de atividade da ferramenta e menor custo de propriedade
◆ Controla repetidamente os baixos fluxos de gás, permitindo o consumo reduzido de gás usando parâmetros otimizados para aplicações de origem do implantador
◆ O loop de controle digital fornece resposta rápida ao ponto de ajuste, minimizando o tempo de ciclo do processo
◆ Aumenta o tempo de atividade da ferramenta através da redução de “No Problem Found”: substituições do MFC
- Inclusão de diagnósticos incorporados e software que permite aos usuários verificar a funcionalidade do MFC sem remover o MFC
-E-diagnósticos através de interface Ethernet incorporada permite monitorar parâmetros de desempenho durante a operação
◆ Substituição direta de função de ajuste de forma para os MFCs mais comuns
◆ Reduz os custos de inventário através da capacidade multigás e multi-range
◆ Configuração e diagnósticos simples através da interface Ethernet
- Utiliza o navegador padrão - não é necessário nenhum software especial
- Inclui aplicativo de PC remoto
◆ Visor LED rotativo brilhante permite a visualização fácil da taxa de fluxo, tipo de gás, faixa de vazão em escala total, temperatura e endereço Ethernet
DESENHO DIMENSIONAL E PINOUTS
ESPECIFICAÇÃO
| atuação | ||
| Faixas de escala completa (equivalente a N 2 ) | 2 a 20 sccm | |
| Faixa de Pressão de Entrada | 4 - 1200 Torr (com vácuo na saída) | |
| Diferencial de Pressão de Operação Normal (equivalente a N 2 ) | <10 torr="" no="" fluxo="" fs="" (com="" vácuo="" na=""> | |
| Pressão máxima de purga | 150 psig | |
| Pressão de ruptura | 1500 psig | |
| Faixa de controle | 2 a 100% do FS | |
| Precisão Típica | ± 1% do set point para> 10 a 100% FS e ± 0,2% do FS para 2 a 10% do FS a pressões de entrada> 20 Torr | |
| Repetibilidade | 0,2% de FS | |
| Resolução | 0,1% da leitura | |
Temperatura Coeficientes | Zero | ± 0,08% de FS / ° C |
| Período | ± 0,08% de Rdg / ° C | |
Tempo de Liquidação do Controlador (por Semi-Diretriz E17-0600) | <2> típico acima de 10% de FS em pressões de entrada> 10 Torr | |
Hora de aquecimento (para dentro de 0,2% do FS do desempenho em estado estacionário ) | <30> | |
| Temperatura normal de operação | 10 a 50 ° C | |
| Umidade de armazenamento | 0 a 95% de umidade relativa, sem condensação | |
| Temperatura de armazenamento | -20 a 65 ° C | |
| Display de temperatura | 0 a 100 ° C | |
| Unidades de leitura de temperatura | ° C | |
| Precisão de temperatura | ± 2 ° C | |
| Resolução de temperatura | 0,1 ° C | |
| Mecânico | ||
| Acessórios | Swagelok ® 4 VCR ® | |
| Exibição | 4 dígitos para valor, 4 caracteres para unidade | |
| Integridade de Vazamento | Externo (scc / sec He) | <1x10> |
| Através de válvula fechada | <1,0% de="" fs="" a="" 25="" psig="" para=""> | |
Materiais molhados Padrão | 316 SS VAR (equivalente a 316 SS SCQ para qualidade de semicondutor), 316 SS, Elgiloy, KM-45, NiTi | |
| Acabamento de superfície | Ra média de 5 micropolegadas | |
| Peso | Menos de 2 lbs. (0,9 kg) | |
| Elétrico | ||
| Conectores | Analógico (potência e E / S) | Macho de 9 pinos D ou macho de 15 pinos D |
| Diagnóstico | Ethernet | |
| Tensão de entrada | 15-24 VDC ± 5% VDC a 350mA de pico, 250 mA em estado estacionário | |
| Sinal de comando do ponto de ajuste | 0 a 5 VDC | |
| Sinal de saída | 0 a 5 VDC | |
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