Breve introdução do revestimento de PVD Sputtering sistema e sistema de controle

Sistema de pulverização catódica

Sistema que sputtering é o núcleo do revestimento de PVD, que consiste emmetas, alvofonte de alimentaçãoe gases especiais. Existem muitos tipos de fonte de alimentação de alvo e eles vêm em diversas variedades, como abaixo:

1. de acordo como modo de saída, existemFonte de alimentação DC, Fonte de alimentação AC(sinusoidal, onda quadrada),fonte de alimentação de pulsoeFonte de alimentação DC sobreposta pulso;

2. de acordo coma frequência de saída, existemFonte de alimentação DC, fonte de alimentação de baixa frequênciaefonte de alimentação de média frequência;

3. de acordo como poder, há fornecimento de baixa potência, médio-fonte de alimentação, fonte de alta potência e super alimentação;

4. de acordo como modo de controle, há uma constante corrente de alimentação, fonte de alimentação de tensão constante e fonte de energia constante.

Sistema de controle

Sistema de controle é a alma do dispositivo inteiro, é controlar o funcionamento de todo o sistema. Sistema de controle consiste em software sistema operacional, sistema de aquisição de dados, sistema de análise de dados e de transporte executivo e assim por diante. Entre elas, a coleta de sistema de coleta de dados, fluxo (vapor), pressão do vácuo, velocidade do motor, posição da válvula e outras informações. Além disso, o sistema operacional de Software e sistema de análise de dados são PLC na maioria das circunstâncias. Além disso, o sistema de transmissão executivo consiste de vários relés, contatores, válvulas solenoides, interruptores, etc.