Características e classificação de unidades de vácuo ultra alto
Dec 13, 2018| Características e classificação de unidades de vácuo ultra alto
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As unidades de vácuo ultra-alto que trabalham a mais de 10 -5 pa têm bomba de difusão, unidades de vácuo ultra-alto de bomba molecular e unidades de vácuo ultra-alto sem óleo. As unidades possuem as seguintes características:
1. Alto grau de vácuo final da bomba principal, 10 -7 ~ 10 -8 pa acima;
2. Pode suportar a alta temperatura de 200 ~ 450 ℃ cozimento ;
3. A pressão parcial do gás de refluxo na bomba principal é muito baixa;
4. Para a seletividade do gás bombeado da bomba principal, para ser equipado com uma bomba auxiliar grande o suficiente;
5. Requisitos da câmara de vácuo, tubo, válvula e outros componentes da taxa de saída do material é muito baixa, taxa de vazamento é muito pequena.
(1) Unidade de vácuo ultra-alta de bomba de difusão
A bomba de difusão como uma bomba prioritária na unidade de vácuo final, o grau de vácuo ultra alto é 10-7 ~ 10-8 pa.
Para reduzir a partir da bomba de difusão antes do nível de difusão de gás e bloquear o efeito anti-difusão do óleo da bomba mecânica no vácuo final, mas na frente do nível de bomba de difusão tipo uma pequena velocidade de bombeamento da bomba de difusão, a fim de reduzir a taxa de compressão, reduzir a difusão Como na entrada da bomba de difusão, a adição de sublimação de titânio bem acima pode reduzir ainda mais a pressão parcial de nitrogênio da bomba de difusão, pode obter vácuo de 10 a 11 pa ultra alto .
(2) unidade de vácuo ultra alta da bomba molecular
A unidade de vácuo ultra-alto com bomba molecular como a bomba principal tem um grau máximo de vácuo de 10-8pa, que é caracterizado por uma partida rápida e pequena poluição por óleo. Além disso, um poço frio de nitrogênio líquido pode ser adicionado à unidade para aumentar a velocidade de bombeamento. Um poço de água fria pode ser colocado na saída da bomba mecânica para evitar a entrada de vapor de óleo no sistema .
(3) Unidade de vácuo ultra alta sem óleo
Unidades de vácuo que não usam óleo como fluido de trabalho e não são vedadas com materiais orgânicos são conhecidas como as principais bombas comumente usadas em unidades de vácuo ultra-alto sem óleo, como bombas criogênicas, bombas de titânio, bombas de íons crepitantes, etc. que pode obter o grau de vácuo final de 10 -7 ~ 10 -8 pa. Comparado com as unidades de vácuo que contêm óleo, tem as seguintes vantagens:
1) vácuo limpo sem fontes de poluição pode ser obtido;
2) Quando a bomba de vácuo isenta de óleo é acionada, a bomba de pré-bombeamento pode ser isolada;
3) Se o bombeamento parar repentinamente, o sistema não será poluído;
4) sem óleo, sem vibração, melhorar o ambiente de trabalho;
5) vácuo limite alto, alta velocidade de bombeamento, curto tempo de bombeamento.