Taxas de Deposição de Filmes em Magnetron Sputtering
May 17, 2023| As taxas de deposição de filmes em pulverização catódica são geralmente altas, variando de alguns nanômetros por segundo a alguns micrômetros por hora, dependendo do tipo de alvo, temperatura do substrato e pressão. A taxa de deposição pode ser controlada ajustando a densidade de potência e a pressão do gás na câmara.
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