Morfologia de descarga de várias tecnologias de revestimento

▲ Figura 1 Morfologia de descarga de várias tecnologias de revestimento

FIGO. 1 mostra as morfologias de descarga em várias técnicas de revestimento iônico. A intensidade da luz de uma descarga de arco é muito maior do que de uma descarga de brilho. A parte superior esquerda e a parte superior central são descargas luminosas. À direita está a luz de descarga de arco de cátodo oco, no canto inferior esquerdo está a luz de revestimento iônico de arco de cátodo e no canto inferior direito está a luz de revestimento de arco PECVD. Nos últimos anos, o processo de revestimento a vácuo e limpeza de peças está se desenvolvendo em direção à descarga de arco

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