Requirio Meio Ambiente do Equipamento de Revestimento PVD
Jan 20, 2018| Como a máquina de revestimento a vácuo está funcionando sob as condições de vácuo, o equipamento precisa atender aos requisitos ambientais do vácuo.
Os padrões específicos da indústria de máquinas de revestimento a vácuo (incluindo especificações técnicas gerais, equipamentos de revestimento a vácuo, equipamentos de ionização a vácuo , equipamentos de revestimento por pulverização a vácuo e equipamentos de revestimento por evaporação a vácuo) fazem todos os requisitos claros para o meio ambiente. Somente o cumprimento dos requisitos ambientais dos equipamentos de revestimento a vácuo pode produzir bons revestimentos PVD.
Os requisitos ambientais de um vácuo geralmente incluem os requisitos do equipamento de vácuo no ambiente do laboratório (ou oficina) onde o equipamento de vácuo está localizado, como temperatura e partículas no ar. Além da exigência de componentes ou superfícies expostas no vácuo ou em estado de vácuo. Estes dois aspectos estão intimamente ligados. A qualidade do ambiente circundante afeta diretamente o uso normal de equipamentos de vácuo, e a câmara de vácuo ou os componentes na câmara estão limpos ou não tem impacto direto no desempenho do equipamento. Se o ar contém muito vapor de água e poeira, no caso de a câmara de vácuo não estar limpo, não é adequado para bombear o ar que pode corroer metal, reagir com o vácuo ou conter partículas de pó. O vapor de água é um tipo de gás condensável, quando uma grande quantidade de gás condensável é extraída, a contaminação do óleo da bomba será mais séria. Como resultado, o vácuo final da bomba diminuirá e então prejudica o desempenho de bombeamento da bomba.
A poeira em ambientes industriais é distinguida por pó, aerossóis e poeira. Pó significa uma coleção de pó ou partículas sólidas. Aerosol é um sistema material que flutua no ar sob a forma de sólidos ou moléculas líquidas. Se o material é sólido ou líquido, quaisquer partículas podem ser referidas coletivamente como partículas de poeira. O padrão de limpeza do ar é determinado pelo tamanho das partículas de poeira e depois personaliza o nível da sala limpa.
As condições normais do equipamento de revestimento a vácuo, incluindo:
1. Temperatura ambiente: 10 ~ 30 ℃
2. Umidade relativa ≤ 70%
3. A temperatura de entrada da água de refrigeração não é superior a 25 ℃
4. A água de arrefecimento é água da torneira da cidade ou água comparável.
5. A tensão de alimentação é 380V, trifásica é 50Hz ou 220V, a fase única é 50Hz (determine pela exigência de aparelhos elétricos de trabalho), o intervalo de flutuação de tensão é 342V ~ 399V ou 198V ~ 231V, o intervalo de flutuação de freqüência é 49 ~ 51Hz .
6. O ar comprimido necessário, o nitrogênio líquido, a pressão da água quente e fria, a temperatura e o consumo de equipamentos devem ser indicados no manual do produto.
7. O ambiente circundante deve estar limpo e arrumar o ar não deve conter a poeira ou o gás que possam causar corrosão na superfície de eletrodomésticos e outras peças metálicas ou causar a condutividade elétrica das peças metálicas.
Além disso, o laboratório ou oficina onde o equipamento de vácuo está localizado deve ser limpo com piso de terrazzo ou madeira. Para evitar que o gás descarregado pela bomba mecânica polua o ambiente do laboratório, o tubo de escape (tubo de metal e borracha) deve ser instalado no orifício de escape da bomba para descarregar o gás da sala.
