Detecção de vazamento para alto vácuo, ultra-alto vácuo e extremamente alto vácuo
Nov 27, 2023| Detecção de vazamento para alto vácuo, ultra-alto vácuo e vácuo extremamente alto
Nenhum dispositivo ou sistema de vácuo pode obter vedação a vácuo absoluto e isso não precisa ser feito. É um fato indiscutível que a taxa de vazamento deve ser baixa o suficiente para que a pressão de trabalho necessária, o equilíbrio do gás e a pressão limite no recipiente de vácuo não sejam indevidamente afetados. Para vácuos altos, ultra-altos e extremamente altos, a única maneira confiável de detectar taxas de vazamento inferiores a 10-7mbar·L/s é com um detector de vazamento com espectrômetro de massa de hélio. O diâmetro equivalente do furo de vazamento é 10-12mbar·L/s, que também é o diâmetro da molécula de hélio e é a menor taxa de vazamento que pode ser detectada. Essa relação com o hélio é uma das razões pelas quais o hélio é usado como gás traçador e os espectrômetros de massa são usados para análise/medição, e é uma das razões pelas quais este método é o método de detecção de vazamento mais preciso e rápido.

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