Sistemas de controle de fluxo e gás PECVD
Jun 30, 2023| O suprimento de gás do sistema PECVD é quase sempre fornecido por cilindros de gás, que são colocados em um gabinete de gás com muitos dispositivos de segurança e entregues à câmara de processo do PECVD através do painel de controle no gabinete de gás e nas tubulações.
Na deposição, a quantidade do gás de reação afetará a taxa de deposição e sua uniformidade, por isso é necessário controlar estritamente o fluxo de gás, e o medidor de fluxo de massa é geralmente usado para obter um controle preciso.
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