Revestimento do vácuo PVD de materiais ferromagnéticos alvo

Feb 18, 2019|

Revestimento de vácuo PVD de materiais ferromagnéticos alvo


IKS PVD, equipamento de revestimento do vácuo de manufatura de PVD, contact:iks.pvd@foxmail.com


A dificuldade do alvo magnético no vácuo PVD que revestimento é que o campo magnético na superfície do alvo não pode atingir a intensidade de campo magnético exigida pelo chapeamento vácuo normal. Portanto, a solução é aumentar a intensidade do campo magnético remanente na superfície do alvo ferromagnético para cumprir a exigência do tamanho do campo magnético na superfície do alvo em trabalho normal de pulverização catódica.

管靶 

Existem várias maneiras de perceber PVD revestimento de vácuo:

 

1. design e melhoria do material alvo (reduzindo a espessura do material ferromagnético alvo é uma solução comum para revestimento de material ferromagnético do vácuo do material alvo de PVD). ;

2. aumentar o efeito do campo magnético de vácuo PVD cátodo de revestimento;

3. reduzir a permeabilidade magnética do material alvo;

4. projetado um novo magnetron sputtering dispositivo cátodo;

5. vácuo de novo design galvanoplastia sistema;

6. abrangente projeto de destino material e dispositivo de cátodo de sputtering do magnétron.

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