Estrutura do manômetro de vácuo de resistência (Pirani Vacuum Gauge)

O medidor de vácuo de resistência, também conhecido como bitola Pirani, reflete as mudanças de pressão com base nas alterações da resistência a filamentos quentes. É composto principalmente de circuitos de medição e medição. O intervalo de medição é de 104 a 10-1 Pa.

A estrutura do medidor de resistência é mostrada na Figura 1. Um fio quente de espiral cilíndrica enrolado com um fio de resistência de coeficiente de alta temperatura é encapsulado na carcaça do regulador. Ambas as extremidades do fio quente são levadas para fora do tubo do medidor e conectam a linha de medição. O reservatório de calibre pode ser feito de metal ou vidro. A concha de metal tem as vantagens de durabilidade, remoção conveniente de filamentos quentes, etc. As desvantagens são desempenho de vedação ruim e preço alto. A concha de vidro tem as vantagens de um bom desempenho de vedação e baixo preço, e a desvantagem é que ela é facilmente danificada.

O coeficiente de temperatura de resistência e a resistividade de alguns fios de resistência que enrolam o fio de aquecimento são mostrados na Tabela 4-1, entre os quais tungstênio, platina e níquel são comumente usados. A fim de garantir a estabilidade de trabalho do fio quente, além de limpar a superfície do fio quente, às vezes uma camada fina de vidro, quartzo ou tântalo é aplicada na superfície do fio quente para evitar a oxidação ou contaminação do calor fio quando é usado sob alta pressão. Mas acredita-se que este método aumentará sua inércia térmica.

Metal: Prata do cobre do ferro do molibdênio do irídio do cromo do níquel da platina do tungstênio

Temperatura de resistência

Coeficiente em 0 ℃ 4,82 3,9 6,0 2,5 4,1 4,71 6,0 4,3 4,29

(10 ^-3 · ℃ ^-1 )

Resistividade em 0 ℃ 5,1 9,2-9,6 6,84 12,9 4,85 5,71 9,7 1,67 1,59

px10 ^-8 (Ω · m)

Tabela 4-1 Coeficiente de temperatura de resistência e resistividade de alguns metais