As melhores técnicas de detecção de vazamento para máquina de revestimento PVD

Detecção de Método de Bolha

A detecção do método de bolha de revestimento PVD é preferida para recipientes de revestimento PVD ou dispositivos que estão sendo processados. Detecção de método de bolha de revestimento PVD significa preencher a parte testada com um determinado gás de indicação de vazamento de pressão e, em seguida, colocar a parte testada no líquido. O gás entra no líquido circundante através do furo de vazamento para formar bolhas. E o lugar onde estão as bolhas é a posição do buraco de vazamento. Além disso, a taxa de vazamento do furo pode ser estimada de acordo com a taxa de formação e o tamanho das bolhas, bem como as propriedades físicas do gás de indicação de vazamento.

Detecção de Método de Cobertura

Detecção de método de cobertura refere-se a um método que cobre todo o dispositivo de revestimento de PVD com um saco de plástico de etileno (tampa) e, em seguida, encher o saco com hélio, ou seja, todo o recipiente de vácuo é imerso no hélio para detecção de vazamento. Após evacuar totalmente o gás, desligue a válvula principal, a válvula aproximada e a válvula de vazamento. Em seguida, use um medidor de vácuo de ionização BA para medir a mudança no aumento da pressão para determinar se há vazamento.

O revestimento PVD é a soma do aumento de pressão devido ao vazamento de gás e ao aumento de pressão causado pela desgaseificação do material e, finalmente, é um aumento linear proporcional ao tempo. Quando a curva de revestimento de PVD exibe tal estado como descrito acima, isso significa que o dispositivo vaza. Quando não há vazamentos e somente a desgaseificação do material, a curva deve estar saturada. Se houver apenas vazamento sem desgaseificação do material, é uma linha reta proporcional ao tempo no início.