Tipo típico de sistema de vácuo

O sistema que costumava atender a certos requisitos do processo, capaz de obter e medir o vácuo específico requerido, é chamado de sistema de vácuo. Um sistema de vácuo mais completo consiste em câmara de vácuo, bomba de vácuo ou unidade de vácuo necessária, dispositivo de medição de vácuo, conduíte de conexão, válvula de vácuo, armadilha e outros componentes de vácuo e sistema de controle elétrico. O sistema de vácuo típico é mostrado na Fig.1 e Fig.2.

1. Válvula de sangria da câmara de vácuo 2. Manômetro de vácuo de ionização 3. Manômetro de vácuo do termopar 4. Válvula reguladora de fluxo

5. Válvula de alto vácuo 6. Bomba de difusão 7. Tanque de armazenamento de gás

8. Medidor de termopar (mede a pressão de pré-estágio da bomba de difusão) 9. Válvula de apoio 10. Sensor de pressão

11. Válvula de pré-bombeamento 12. Bomba de vácuo de raízes 13. Válvula de by-pass 14. Válvula de sangria eletromagnética

15. bomba de vácuo mecânica

Fig.1 Diagrama esquemático de um sistema de vácuo típico

1. Câmara de vácuo 2. Medidor de vácuo de ionização 3. Medidor de vácuo para termopar 4. Válvula de esvaziamento

5. Válvula de alto vácuo 6. Armadilha de frio 7. Bomba de difusão 8. Válvula de fundo 9. Válvula de sangria eletromagnética

10. Bomba de vácuo mecânica 11 Válvula de pré-bombeamento

Fig.2 Diagrama esquemático de um sistema de vácuo típico