Detalhes da Máquina de Revestimento a Vácuo
Mar 23, 2019| Detalhes da máquina de revestimento a vácuo
Visão geral do sistema
Máquina de revestimento a vácuo refere-se principalmente a um tipo de revestimento que precisa ser realizado em alto grau de vácuo, incluindo muitos tipos, incluindo evaporação de íons a vácuo, sputtering magnetron, epitaxia de feixe molecular MBE, depósito de pulverização laser PLD e assim por diante. A ideia principal é dividida em evaporação e sputtering.
É frequentemente usado para tratamento superficial de nanômetros em semicondutores, fotovoltaicos, eletrônicos, óptica de precisão e outros
Princípio do sistema
O material a ser revestido no cadinho é bombardeado com elétrons pela pistola de elétrons sob alta pressão, que é vaporizado e depositado no substrato sob alto vácuo para obtenção do filme de revestimento.
* controlador automático: e-control PLC é a plataforma de hardware principal do sistema de controle.
* hardware de interface homem-máquina: computador tablet TPC1503 de 15 polegadas, estável e confiável.
* software de interface homem-máquina: plataforma de desenvolvimento de software de configuração NETSCADA, fornecendo controle e monitoramento da máquina de revestimento a vácuo.
Avaliação do sistema:
* até 99 camadas por suporte de formação de filme;
* reverso reverso automático, o revestimento lateral dobro pode ser conseguido;
* suporte Excle para importar materiais alvo, parâmetros de equipamentos, parâmetros de processo, etc .;
* suporte personalizado controle do número de pontos de pixel da arma de elétrons para alcançar controle de aquecimento sem emenda do alvo;
* para diferentes seções de aquecimento, diferentes modos de evaporação são adotados para garantir a temperatura uniforme do material fundido e a eficiência do material fundido;
* um clique de início, do início ao fim da produção, só precisa clicar com o mouse, todos os tipos de processos de produção completam automaticamente;
* esquema de gerenciamento de dados de número de lote, armazenamento automático em tempo real de informações de produção, dados de produção disponíveis;
* solução de rede, fornecendo porta de rede remota, facilmente realizando controle e gerenciamento centralizados remotos em vários sistemas;
IKS PVD, sistema de revestimento a vácuo, entre em contato conosco agora, iks.pvd @ foxmail.com