Classificação de tensão de viés no processo de revestimento

Classificação de tensão de viés no processo de revestimento:

1, viés negativo dc
Os íons positivos no plasma podem obter mais energia carregando tensão de viés dc negativa na peça de trabalho. Os íons positivos podem acelerar o bombardeio da peça de trabalho e orientar a deposição dos íons carregados espirrados da superfície do alvo até certo ponto. O viés negativo de DC é contínuo sem interrupção, por isso tem um certo efeito de aquecimento no substrato.
2, viés positivo dc
Na descarga de gás do revestimento de íons, as partículas nucleadas de gás mostram um certo potencial negativo. Neste caso, a peça de trabalho é carregada com um certo viés positivo, o que é benéfico para a deposição do filme.
3. Viés de pulso
Plasma oscilante. A densidade e temperatura do plasma podem ser aumentadas diminuindo a relação de missões de pulso e aumentando a intensidade da fonte de energia do pulso. O efeito de bombardeio é melhorado em todos os tipos de substratos (condutivo e não condutor). Como resultado, o tempo de sobrevivência dos elétrons secundários aumenta, a probabilidade de colisão aumenta, e a densidade plasmática aumenta. A taxa de deposição pode ser controlada ajustando a frequência de pulso e o ciclo de serviço. O aumento da temperatura pode ser controlado ajustando a frequência de pulso e o ciclo de trabalho, e o filme pode ser formado a baixa temperatura para evitar danos ao tecido original do substrato. Para múltiplos arcos, a taxa de deposição é muito rápida, por isso não é adequada para a deposição de filme de dispositivos eletrônicos e outras peças de trabalho de precisão. A introdução do viés de pulso pode ser efetivamente melhorada.
4, viés zero e viés de suspensão
No processo de revestimento sem partículas carregadas (como evaporação simples, etc.), pode-se usar viés/suspensão zero.
A tolerância à peça de trabalho de baixa temperatura (como peças plásticas, etc.) revestimento, a fim de evitar a deformação da peça de trabalho, pode escolher viés de viés/suspensão zero ou selecionar pequeno ciclo de trabalho de baixa tensão de amplitude.

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