Estrutura detalhada da máquina de revestimento a vácuo

Estrutura detalhada da máquina de revestimento a vácuo

Máquina de revestimento a vácuo elevado, máquina de revestimento é o equipamento mais utilizado na produção de condições de vácuo. Seus componentes relacionados: bomba mecânica, bomba de reforço, bomba de difusão de óleo, bomba de condensação, sistema de medição de vácuo.

O seguinte eu introduzo a composição e princípio de funcionamento de cada parte em detalhes.

1. Corpo principal a vácuo - câmara de vácuo

De acordo com os diferentes requisitos de produtos de processamento, o tamanho da cavidade de vácuo não é o mesmo, o mais comumente usado no momento é 1.3M, 0.9M, 1.5M, 1.8M, etc, a cavidade feita de material de aço inoxidável, Não ferrugem, sólido, etc., cada parte da cavidade de vácuo tem uma válvula de conexão, usada para conectar a bomba.

2. Sistema auxiliar de bombeamento

O sistema de escape é composto de "bomba de difusão + bomba mecânica + bomba de raízes + baixa temperatura cold trap + polycold"

O fluxo de escape é o seguinte: a bomba mecânica primeiro bombeia a câmara de vácuo para um estado de vácuo baixo inferior a 2,0 * 10-2pa, o que fornece a premissa para a bomba de difusão bombear o vácuo. Mais tarde, quando a bomba de difusão bombeia a câmara de vácuo, a bomba mecânica e a bomba de difusão de óleo formam uma série para completar a ação de bombeamento dessa maneira.

O sistema de escape é uma parte importante do sistema de vácuo da máquina de revestimento. É composto principalmente de bomba mecânica, bomba de reforço (bomba de raízes principalmente introduzida) e bomba de difusão de óleo.

Bomba mecânica: também conhecida como bomba de estágio dianteiro, bomba mecânica é uma das bombas de vácuo mais usadas, é o óleo para manter o efeito de vedação e depende de métodos mecânicos para alterar constantemente o volume da cavidade de sucção na bomba, de modo que o volume do gás no recipiente bombeado está em constante expansão para obter vácuo.

Existem muitos tipos de bombas mecânicas, comumente usados têm tipo de válvula de deslizamento (isso é usado principalmente em equipamentos de grande porte), pistão alternativo, fixo e tipo de lâmina rotativa (este é atualmente o mais utilizado, este papel introduzido principalmente) quatro tipos.

Bomba mecânica é freqüentemente usado para remover o ar seco, mas não pode remover o conteúdo de oxigênio é muito alto, gás explosivo e corrosivo, bomba mecânica é geralmente usado para remover gás permanente, mas nenhum bom efeito no gás de água, por isso não pode ser removido água gás. A bomba de palhetas rotativas desempenha um papel importante nas partes do estator, rotor, estilhaços, etc., o rotor no estator, mas diferente dos mandores do estator, como dois círculos inscritos, ranhura do rotor com dois pedaços de estilhaços, dois pedaços de estilhaços com uma mola no meio, para garantir que os estilhaços aderem firmemente à parede do estator.

Suas duas metralhadoras alternadamente desempenham dois papéis, por um lado, a partir da entrada de ar para o gás, por outro lado, foram comprimidas na bomba de descarga de gás e gás. Cada rotação do rotor, a bomba completou dois sucção e dois de escape. Quando a bomba continuamente rotação no sentido horário, bomba de palhetas rotativas continuamente através do gás de admissão de ar, e continuamente a partir do escape de escape no exterior da bomba, para atingir o objetivo do bombeamento do recipiente. A fim de melhorar a bomba de vácuo limitante, o estator da bomba embebido em óleo, e em toda parte na folga do espaço prejudicial, muitas vezes mantém óleo suficiente no interior, preenche a lacuna, por isso a lubrificação do óleo, por um lado, e selar e plug gap e o efeito nocivo do espaço, evitar fluxo reverso da molécula de gás através de vários canais para a baixa pressão do espaço.

A bomba mecânica começa a partir do trabalho de atmosfera, seu parâmetro principal tem o limite de vácuo, a taxa de bombeamento, isto para o projeto e seleciona a bomba mecânica a base importante. Bomba de estágio único pode bombear o recipiente da atmosfera para o vácuo limite de 1.0 * 10-1pa, bomba mecânica de estágio duplo pode bombear o recipiente da atmosfera para 6.7 * 10-2 pa, ou até mais.

A taxa de extração refere-se ao volume de gás que pode ser descarregado por unidade de tempo quando a bomba de palhetas rotativas opera de acordo com o número nominal de rotações, que pode ser calculado pela seguinte fórmula:

Sth = 2nVs = 2nfsL

Fs representa a área seccional da cavidade espaço-tempo no final da inspiração, L representa o comprimento da cavidade, o coeficiente representa o processo de exaustão do rotor duas vezes a cada ciclo de rotação, Vs significa o fim da inspiração quando o o rotor está na posição horizontal, o volume na cavidade espaço-tempo é o maior e a velocidade de rotação é n.

O efeito do escape da bomba mecânica com a velocidade do motor e a frouxidão das correias tem relação, quando a correia do motor é frouxa, a velocidade do motor é lenta, o efeito de exaustão mecânico da bomba tornar-se-á pior, tão frequentemente manter, o registro , também precisa verificar frequentemente vedação de óleo da bomba mecânica, o óleo é muito pouco, não pode atender o efeito de vedação, dentro do vazamento da bomba, óleo muito, o entupimento do orifício de sucção, inspiração e escape, geralmente, 0,5 cm no nível de óleo o offline.

Turbo bomba / bomba de raízes: é ter um par de síncrono de alta velocidade giratória forma de folha dupla ou bomba mecânica de rotor lobado, porque funciona o mesmo que o soprador de raízes, também pode chamar a bomba de vácuo de raízes, a bomba no gama de 100-1 mpa pressão de extração de pressão muito, compensa a capacidade de escape da bomba mecânica insuficientes insuficiências neste âmbito, a bomba não pode começar a trabalhar a partir da atmosfera, não tem descarga direta da atmosfera, o seu papel é apenas para aumentar a pressão diferencial entre a entrada ea saída, o resto da bomba mecânica é necessária para completar, portanto, deve coincidir com a bomba mecânica como a bomba de apoio.

Bomba mecânica no uso do processo, deve prestar atenção aos seguintes problemas:

1, bomba mecânica para ser instalado em local limpo e seco.

2, a própria bomba para manter limpo e seco, o óleo da bomba tem uma vedação e lubrificação, de modo a ser adicionado de acordo com a quantidade especificada.

3, para substituir regularmente o óleo da bomba, a substituição deve ser descarregada antes do óleo usado, ciclo de pelo menos três meses a seis meses para substituir uma vez.

4. Conecte os fios de acordo com as instruções.

5, antes de a bomba mecânica parar de trabalhar para fechar a válvula de admissão, em seguida, falha de energia e abrir a válvula de ar, o ar na bomba através da entrada.

6, durante o trabalho da bomba, a temperatura do óleo não pode exceder 75 graus Celsius, caso contrário, a viscosidade do óleo é muito pequeno e levar a vedação frouxa.

7, ou verificar o aperto da correia da bomba mecânica, a velocidade do motor, a velocidade do motor da bomba de raízes, e efeito de vedação do anel de vedação.

Bomba de difusão de óleo: o limite de vácuo da bomba mecânica é de apenas 10-2 pa, quando atingindo 10-1 pa, a velocidade real de bombeamento é de apenas 1/10 da teoria, se você quiser obter alto vácuo, você deve usar difusão de óleo bomba.

Uma vez que a bomba de difusão de óleo é a primeira bomba usada para obter alto vácuo, ela é barata, fácil de manter e amplamente utilizada, portanto, este artigo enfocará a discussão.

Faixa de pressão de aplicação de bomba de difusão de óleo é 10-1 -10-7 pa, é o uso de fenômeno de difusão de gás para exaustão, tem uma estrutura simples, fácil de operar, velocidade de bombeamento é grande (a mais alta pode chegar 10 + 5 l / s) e outras características. A bomba de difusão de óleo é composta principalmente por concha da bomba, bocal, tubo de desvio e aquecedor. A bomba de difusão de óleo (d-704 # no Japão) é principalmente adicionada no interior. De acordo com o número de bicos, pode ser dividido em bomba de estágio único e bomba de múltiplos estágios.

Na parte inferior da bomba de difusão é armazenado o óleo da bomba de difusão. A parte superior é a entrada de ar e a parte inferior do lado direito é a saída de ar. Durante a operação, a saída de ar é fornecida com a pressão de preposição pela bomba mecânica, e a bomba mecânica ACTS como a bomba de preposição.

Quando o óleo da bomba de difusão é aquecido pelo forno elétrico, o vapor de óleo produzido fornece a pressão de pré-carga e a bomba mecânica ACTS como bomba de pré-carga. Quando o óleo da bomba de difusão é aquecido pelo forno elétrico, o vapor de óleo é emitido pelo tubo através do bico do guarda-chuva. Como existe um vácuo de 1-10-1 pa fornecido pela bomba mecânica fora do bocal, o vapor de óleo pode ser ejetado por uma certa distância, formando um fluxo de jato na direção da saída de ar. Finalmente, o jato encontra a parede da bomba resfriada pela água de resfriamento, se condensa em líquido e flui de volta para o evaporador, ou seja, evapora, jorra, condensa e circula repetidamente para realizar a extração de ar.

Pelas moléculas de gás na entrada de ar na bomba, uma vez caída no fluxo de vapor, diminui o momento do movimento para baixo, por causa do jato com alta velocidade (200 m / SEC), alta densidade do vapor, e óleo de bomba de difusão com alto peso molecular (300-500), ele pode efetivamente tomar moléculas de gás, portanto, dentro da interface do jato, as moléculas de gás não podem ficar encalhadas por um longo tempo, e o fluxo de jato em ambos os lados da interface , é a concentração do gás de fumaça é muito ruim, só por causa desta diferença de concentração através da interface de ação na difusão de gás de fumaça em jato, foi levado para a saída e na saída pela bomba mecânica.

A pressão de vapor de óleo da bomba de difusão é um fator importante para determinar o vácuo final da bomba.

A bomba de difusão não pode ser usada apenas para bombear, os requisitos gerais da pressão máxima de saída da bomba são de 40 pa. Vitória da bomba de difusão de bombeamento está prevista para o primeiro nível do bocal e corpo da bomba de diâmetro de entrada, o tamanho da área circular entre a velocidade de bombeamento não é um valor constante, mas varia com a pressão de entrada de ar, quando a pressão em 2 ~ 10 -10-3, velocidade de sucção da bomba de difusão é o mais rápido, quando a pressão é inferior a 5 * 10-4 mpa, velocidade de sucção da bomba de difusão mínima, quase nenhuma capacidade de sucção (neste ponto, a pressão de entrada é maior, devido à sua a alta densidade do ar, faz o distribuidor de vapor transformar-se um jato de alta velocidade para obstruir a difusão do ar, assim que a velocidade de bombeamento para baixo).

A bomba de difusão deve ser limpa antes da instalação e, em seguida, o óleo de difusão pode ser carregado. Antes de o óleo ser aquecido, a bomba deve ser aspirada primeiro e o óleo da bomba de difusão deve ser resfriado a 60 ~ 70 graus Celsius antes de a máquina ser desligada. Em seguida, o gás de exaustão do estágio frontal pode ser fechado e, finalmente, a água de resfriamento pode ser fechada.

Porque a bomba de difusão de óleo é incapaz de colocar um fim para retornar a chance de óleo, então não há maneira de garantir produtos de precisão 100% puros, especialmente na indústria de semicondutores, então há uma "bomba condensada de alto vácuo + bomba mecânica de baixo vácuo" sistema de vácuo livre de óleo, composto do sistema de exaustão da bomba de condensado composto não só de eficiência de escape é muito alto e efetivamente garantir a limpeza da câmara de vácuo, garantir a qualidade do produto (para evitar produtos contaminados, aumentar a adesão entre revestimento e substrato), mas seus custos de manutenção são muito altos, caros, por isso não há bomba de difusão de óleo em penetração.

Bomba de condensação a baixa temperatura: é uma espécie de bomba que condensa as moléculas de gás na superfície de baixa temperatura para realizar o bombeamento.

O princípio de funcionamento da bomba de condensação: é principalmente a condensação, captura a frio e adsorção física de baixa temperatura do gás na superfície de baixa temperatura.

Condensação criogênica: hélio líquido ou ciclo de refrigeração O hélio é usado para resfriamento de acordo com as características de vários gases.

Captura a frio: é o fenômeno que o gás não condensável é capturado pelo gás condensável. Normalmente, gases como dióxido de carbono, vapor de água, nitrogênio e gás comprimido formam primeiro a geada e formam uma camada de adsorção na superfície de baixa temperatura, de modo a atingir a finalidade de adsorver outros gases. Esta é a razão pela qual o efeito da bomba criogênica na remoção do gás misto é melhor que o do gás único.

Adsorção a baixa temperatura: refere-se à adsorção de gás por adsorvente na superfície de baixa temperatura. Devido à forte interação entre as moléculas de adsorvente e de gás, a pressão de vapor pode ser menor que a pressão de vapor de saturação à temperatura da superfície de condensação. O adsorvente é geralmente carbono ativado.

A taxa de bombeamento da bomba de condensação e a taxa de bombeamento que afeta a bomba de condensação estão relacionadas ao tamanho da área da superfície de condensação. De acordo com os dados, a taxa de bombeamento por unidade da área de superfície de condensação é de 11,6 l / s. Além disso, a geometria e localização da superfície de adsorção de carvão ativado, estrutura de partículas de carvão ativado, materiais de ligação e processo de colagem, tem um grande impacto na velocidade de bombeamento. Em segundo lugar, a chave é a capacidade de refrigeração da geladeira para ser grande o suficiente .

Medidor de vácuo: medidor de vácuo é uma parte importante da máquina de revestimento a vácuo, é um meio importante de testar o grau de vácuo da máquina de revestimento. O medidor de vácuo pode ser dividido em medidor de vácuo absoluto e medidor de vácuo relativo de acordo com seu princípio de funcionamento. O medidor de vácuo absoluto pode medir diretamente o nível de pressão, enquanto o medidor de vácuo relativo só pode medir indiretamente o grau de vácuo.

Este documento introduz principalmente os seguintes medidores a vácuo comumente usados na máquina de revestimento:

Medidor de vácuo de resistência (também conhecido como medidor de vácuo pirani):

É composto principalmente de fio de aquecimento elétrico, shell e suporte, principalmente com base na baixa pressão, a condutividade térmica do gás é proporcional à pressão do caminho para o trabalho. A abertura acima está conectada com o sistema de vácuo sob teste. O fio quente é feito de fio metálico com alta resistência ao coeficiente de temperatura. Os dois cabos de suporte estão conectados à linha de medição. Quando a pressão diminui, o calor perdido pela condução de calor do gás diminui. Portanto, quando a corrente de aquecimento do fio quente é estável, a temperatura do fio quente sobe e a resistência do fio quente aumenta. A pressão é indiretamente medida pela medição da resistência do fio quente.

Este é o princípio de funcionamento do medidor de vácuo de resistência, a faixa de medição de vácuo é: entre os 100-10-1 mpa, é o WP - 02 modelos utilizados no presente .

Indicador de vácuo de descarga controlada magneticamente:

Como funciona: no início da descarga, por causa do espaço, elétrons livres do movimento anódico sob o efeito do campo eletromagnético ortogonal, a trajetória do elétron não é reta, mas em espiral, e porque o ânodo é o quadro, então o eletrônico não conheceu pela primeira vez o ânodo, mas através do ânodo, e rejeição pelo cátodo, e após o retorno. Isso pode ser repetido muitas vezes no ânodo. À medida que o caminho do elétron é bastante alongado, o número de moléculas colidindo e ionizando é aumentado, de modo que a descarga (também chamada de penning discharge) é mantida a uma pressão relativamente baixa (abaixo de 10-4 pa).

Atualmente, mais modelos incluem PKR251 e gi-pary.

Medidor de vácuo do tubo de descarga: dois eletrodos de metal são selados no tubo de vidro, e uma alta voltagem CC de vários milhares de volts é adicionada nele. A descarga auto-sustentada pode ser causada dentro de uma certa faixa de pressão (1 * 10-3 ~ 2 * 10 suportes). O grau de vácuo pode ser determinado pela cor de descarga.

Até agora, esse tipo de medidor de vácuo raramente é usado devido a seu grande erro, danos fáceis e vida curta.

3. sistema de evaporação

Sistema de evaporação refere-se principalmente ao dispositivo de formação de filme. Existem muitos dispositivos de formação de filme na máquina de revestimento, incluindo aquecimento por resistência, evaporação de eletrões, sputtering de magnetron, sputtering RF, ion plating, etc. Vou introduzir os dois métodos de aquecimento por resistência e evaporação de eletrons gun, porque eu uso esses dois métodos Mais.

De acordo com sua estrutura e princípio de funcionamento, a evaporação por resistência é, de longe, o método de evaporação mais utilizado e também o de maior tempo de aplicação. A maneira como funciona é que o tungstênio como um navio e, em seguida, instalado no meio dos dois eletrodos, no meio do barco de tungstênio com ervas, mais uma vez lentamente para a corrente do eletrodo, corrente através do tungstênio, aquecimento eléctrico do barco de tungstênio, a baixa tensão, alta corrente fazer barco de tungstênio para gerar calor, alto ponto de fusão e transferência de calor para o material de revestimento, quando a quantidade de calor do barco de tungstênio é maior do que o ponto de fusão de material de revestimento, material de sublimação ou vaporização, este método porque de fácil operação, estrutura simples, baixo custo, assim é um monte de equipamentos utilizados, mas a evaporação de filme fino por causa da baixa densidade, além de muito material não pode usar desta forma a evaporação, por isso tem certas limitações. Material de revestimento de evaporação de barco de tungstênio, ponto de fusão do material deve ser inferior ao ponto de fusão do barco de tungstênio, caso contrário não há nenhuma maneira de realizar.

A evaporação de pistões de elétrons é o método de evaporação mais utilizado até agora. Pode evaporar qualquer tipo de material de revestimento. Seu modo de trabalho é: Material de revestimento no cadinho, fonte de evaporação em forma de filamento, usando um gabinete de controle especial, o filamento com uma corrente forte, alta tensão, devido ao material é filamento de tungstênio, por isso vai ser quente, no fim vai lançar eletrônico, e adoção de um determinado campo magnético será reunido em uma determinada forma, e desenho no cadinho, assim, formou um feixe, devido à temperatura do elétron é muito alta, pode derreter todos os materiais de revestimento, como os materiais de revestimento é após a fusão do feixe de elétrons (parte do material é diretamente sublimada), ervas medicinais de moléculas (átomos ou íons) no vácuo em movimento linear, em seguida, atende a placa de base e, em seguida, condensar, Após este caminho de crescimento, formando um filme ! Os mais comumente usados são fazer o ângulo de deflexão do feixe de elétrons em 270 graus, ou a arma de elétrons e-line com a trajetória de e ou o feixe de elétrons com a trajetória de 180 graus, e a arma eletrônica do tipo c com a trajetória de c.

A maior vantagem da evaporação do feixe de elétrons é: o ponto do feixe de elétrons pode ser ajustado à vontade, o filamento pode ser escondido, evitar a poluição, pode evaporar qualquer material de revestimento, fácil manutenção, velocidade de evaporação pode ser controlada à vontade, decomposição de material pequeno alta densidade de filme. Boa resistência mecânica .

O método de sputtering é bombardear a superfície do material alvo com íons positivos de alta velocidade. Através da transmissão de energia cinética, as moléculas (átomos) do material alvo têm energia suficiente para escapar da superfície do material alvo, e depois coagular na superfície do produto para formar um filme.

O filme depositado pelo método de sputtering tem forte adesão e alta pureza, e pode pulverizar uma variedade de materiais diferentes ao mesmo tempo. No entanto, tem altos requisitos para o material de destino e não pode economizar recursos como a arma de elétrons.

Atualmente, o sputtering do magnetron é o método mais comumente usado. A pulverização catódica por magnetron é aplicar um campo elétrico aprimorado paralelo à superfície do cátodo e restringir os elétrons próximos à superfície do alvo do catodo para melhorar a eficiência da ionização. É o tipo mais simples de operação, por isso é amplamente utilizado.

4. Sistema de controle de formação de filme

Atualmente, existem muitos métodos de monitoramento de filmes, como monitoramento visual, monitoramento de valor fixo, monitoramento de oscilação de cristal, monitoramento de tempo e assim por diante. Eu principalmente introduzo monitoramento visual, monitoração fixa (extrema) e monitoramento de oscilação de cristal três.

Monitoramento Visual, também conhecido como monitoramento direto, é o uso de monitoramento ocular, pois o filme em processo de crescimento, devido ao fenômeno de interferência terá alterações de cor, estamos baseados em mudanças de cores para controlar a espessura do filme, este método tem um certo erro, por isso não é muito preciso, precisamos confiar na experiência.

Monitoramento de valor fixo (valor extremo): principalmente usa o tipo de reflexão (através do tipo) de monitoramento óptico. Método de monitoramento de valor extremo: quando a espessura do filme aumenta, sua taxa de refletância e penetração acompanhará a mudança, quando a taxa de refletância ou penetração até o ponto extremo, podemos saber que a espessura óptica do revestimento é um quarto do comprimento de onda de monitoramento ( em) tempos inteiros. No entanto, o erro do método do valor extremo é relativamente grande, porque quando a refletividade ou transmitância muda muito lentamente perto do valor extremo, isto é, a espessura do filme ND aumenta muito, R / T muda. A posição mais sensível é de um oitavo do comprimento de onda.

Método de monitoração de valor fixo: este método usa o ponto de parada para não monitorar o nível de onda de quarto do comprimento de onda e o computador calcula a refletância (ou taxa de penetração) da espessura total do filme no comprimento de onda ponto.

Monitoramento de oscilação de cristal:

O princípio de funcionamento da oscilação do cristal é que a frequência de vibração do cristal de quartzo é inversamente proporcional à sua massa. No entanto, uma das desvantagens da monitorização de quartzo é que quando a espessura do filme aumenta para uma certa espessura, a frequência de vibração não é inteiramente devida às características do próprio quartzo, portanto existe uma relação linear entre a espessura e a frequência.

Vários métodos de monitoramento têm suas próprias vantagens e desvantagens, mas geralmente o revestimento multi-camada, monitoramento ótico, será a principal oscilação do cristal de quartzo como método auxiliar.

Além disso, para alguns no processo de revestimento precisam ser preenchidos com medidor de controle de fluxo de gás ou medidor de controle de pressão, estes precisam usar válvulas sofisticadas e sistema de sensor fotoelétrico para controlar.

No processo de revestimento também precisa de sistema de controle rotativo, é colocar o eixo principal do guarda-chuva no rolamento, e depois usar o motor para acionar o rolamento, de modo que o guarda-chuva rotativo. Então o PLC controla sua velocidade de rotação.

A rotação do cadinho é acionada por motor elétrico, o método de contagem de indução fotoelétrica é adotado e a placa de blindagem é girada por meio de comutador pneumático.

A fim de acelerar a taxa de extração e alcançar um certo grau de vácuo, a câmara de vácuo também precisa ser refrigerada, isto é, o ar dentro da câmara de vácuo é congelado a -130 graus Celsius, e o ar de água dentro da câmara de vácuo é congelado e bombeado para fora.

Controle automático PLC, parte de controle elétrico do artigo é o primeiro no programa de design de entrada PLC com antecedência, o circuito principal do processador conectado ao sistema vazio no painel de operação, quando pressionar o interruptor no painel de operação, transmissão de informações para a central unidade de processamento (CPU) e, em seguida, pela análise do sistema de controle central e implementar e concluir as ações por instruções emitidas da filial.

Máquina de revestimento é uma multidisciplina de equipamentos, TI integra a tecnologia mecânica e eletrônica mais avançada da indústria, tecnologia de controle, automação elétrica, tecnologia de TI, tecnologia de refrigeração, sistemas integrados de microcircuito, sistema de controle de alta pressão, tecnologia mecânica, tecnologia de processamento, tecnologia fotoelétrica tecnologia óptica, tecnologia de controle pneumático, tecnologia de sensor fotoelétrico, tecnologia de comunicação, tecnologia de vácuo, filme óptico e tecnologia de revestimento, e assim por diante.

Pode-se dizer que a máquina de revestimento é um novo representante da indústria.

Hoje, máquina de revestimento tem sido amplamente utilizada, chapeamento filme especialmente amplamente, a produção de vários tipos de película fina foi aplicada ao sistema fotoelétrico e instrumentos ópticos, tais como câmeras digitais, câmeras digitais, binóculos, projetor, controle de energia, comunicação óptica, tecnologia de exibição, interferômetro, os mísseis satélites, laser semicondutor, mems, indústria da informação, a produção de laser, todos os tipos de filtro, indústria de iluminação, sensores, vidro arquitetônico, indústria automotiva, decoração, MOEDAS, óculos, etc. intimamente ligada à vida humana.

O custo de uma máquina de revestimento importada geralmente chega a 3 milhões a 10 milhões de RMB, e o custo do equipamento doméstico é de cerca de 1 milhão de RMB.

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