Classificação e introdução do processo de revestimento PVD

Classificação e introdução do processo de revestimento PVD

Os processos de revestimento PVD são geralmente divididos em três categorias, a saber, Evaporação a Vácuo, Sputtering e Ion Plating.

1. Evaporação a vácuo
Quando os metais são aquecidos no vácuo, eles se transformam em gases e evaporam. A evaporação a vácuo usa este princípio. A maior parte do tratamento é realizada em um vácuo abaixo de 10-5TORR. Metais e todos os tipos de compostos podem ser usados ​​como substâncias anexadas. Os casos de aplicação incluem lentes, espelhos, peças plásticas e assim por diante. No entanto, a finalidade do endurecimento da superfície do metal é muito pequena, principalmente para objetos decorativos.

2. Revestimento de pulverização (sputtering)
Este princípio é baseado no alvo como o cátodo, o substrato como o ânodo, na atmosfera de Ar de 10-2TORr com alta tensão perto do cátodo após a ionização do gás Ar em Ar plus , e impacto com o cátodo. Moléculas ou átomos lançados pelos íons Ar+ colidem com o substrato e se acumulam para formar um filme fino.
A faixa de aplicação de sputtering é muito ampla, o uso da função do filme é resistência à abrasão, resistência à corrosão, resistência ao calor, antiestático ou decorativo para o efeito, mas devido ao problema de adesão é raro na aplicação de ferramentas. Adequado para revestimento contínuo a granel, como peças de telefones celulares.

3. Chapeamento de Íons (Chapeamento de Íons)
O melhor efeito do processo de revestimento PVD é o revestimento iônico. Este método é uma tecnologia que usa arco para impactar o alvo para que os átomos alvo sejam excitados e reajam com o gás reativo para formar compostos depositados na superfície da peça de trabalho. Depois de correr para um alto vácuo no forno, o gás inerte é introduzido e a polarização é adicionada para causar o íon argônio (Ar mais ) e o elétron carregado negativamente (E -). O íon de argônio carregado positivamente colidirá no substrato com um viés negativo para limpar a superfície das peças; Depois disso, o gás de reação é introduzido para gerar um plasma entre o alvo e o substrato para operação de revestimento. Este método tem velocidade de formação de filme rápida e melhor compacidade e é usado principalmente para revestimento de ferramentas de corte.
A maioria das empresas usa o método Arc de cátodo mais avançado para operações de revestimento. Comparado com outros métodos, este método tem maior taxa de ionização, adesão uniforme e a melhor densidade, usado principalmente em revestimentos duros de metal, especialmente os requisitos de objetos de resistência ao desgaste.

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