PVD Vacuum Coating Machine Instruções de Operação

Instruções de operação da máquina de revestimento a vácuo PVD

Começando

1. Verifique se a hidrovia está desbloqueada e confirme se a torre de resfriamento e a bomba radical estão funcionando normalmente (a pressão da água deve estar acima de 0,4 mpa).

2. Verifique se o caminho de ar está limpo e confirme se o compressor de ar está funcionando normalmente (a pressão do ar deve chegar a 0,5mpa).

3. Ligue o interruptor de energia, ligue o interruptor de "start up" e "manter bomba", e quando a leitura do medidor termopar vácuo está abaixo de 10pa, ligue os quatro interruptores de "controlador de temperatura da bomba de difusão 1, 2 "e" bomba de difusão 1, 2 ". Isto é, o aquecimento da bomba de difusão (cerca de 1 hora).

4. Após o tempo de aquecimento é de cerca de 10 minutos, inicie o purgador de baixa temperatura. Após o tempo de resfriamento de 6 minutos, pressione F1 para iniciar o purgador de baixa temperatura. Quando a temperatura definida no controlador de temperatura é atingida, a operação normal de produção pode ser executada.

produção e operação

1. Confirme se o material da película, o filamento da fonte de iões e a estrutura da peça de trabalho na câmara de vácuo foram colocados conforme necessário.

2. Ligue a "bomba bruta", mude a engrenagem automática do extractor de ar para a engrenagem automática, ligue o interruptor "extractor de ar automático" e espere que a porta da câmara de vácuo se feche.

3. Quando a bomba de raízes iniciar automaticamente, pressione a armadilha de baixa temperatura "F2" para iniciar a função de refrigeração de armadilha.

4. Esta operação deve ser diferente do processo e há grandes mudanças, aqui não é uma descrição detalhada, isto é.

5. O processo está completo, fechar a arma, a fonte de íons (deve XianGui fluxo de energia zero filamento e, em seguida, fechar a fonte de alimentação), como interruptor, abra o interruptor de ar automático, depois de estar bem válvula de sucção fechada, a extração automática interruptor manual para manual (aqui, além do aviso necessário para manter a bomba, bomba de difusão, bombeamento, o interruptor de quatro inicialização é pressionado, o outro nunca pressione o interruptor, a fim de evitar o erro causado pela bomba de difusão exposta à atmosfera!) Pressione a armadilha F3 para ativar a função de retorno de temperatura. Quando a temperatura da armadilha de baixa temperatura subir para mais de 30 graus Celsius, abra a "válvula de enchimento". Quando a porta da câmara de vácuo abrir, feche a "válvula de enchimento". (nota: é estritamente proibido confundir "extração automática de ar" com "carregamento automático de ar")

6. O ciclo acima é o processo normal de operação.

fechando

1. Feche a porta da câmara de vácuo até um certo vácuo e feche todos os interruptores, exceto o interruptor de parada.

2. A fonte de alimentação, o compressor de ar, a torre de resfriamento e a bomba radical podem ser desligados somente depois que a máquina de revestimento a vácuo tiver sido resfriada por uma hora.

Nota: todas as operações acima devem ser estritamente realizadas e não podem ser alteradas sem permissão. Se a máquina de revestimento estiver danificada ou afetada devido a operação incorreta, o operador assumirá a responsabilidade correspondente.

Aviso: existem muitos transformadores de alta tensão nesta máquina, a tensão é de até 8KV, a fim de evitar acidentes de segurança, não abra a porta de proteção sob o gabinete elétrico e câmara de vácuo sem permissão.

Observação: Acima da instrução da operação não pode ser apropriado para toda a máquina de revestimento PVD, se você tem alguma pergunta sobre a tecnologia de revestimento a vácuo PVD, entre em contato com IKS PVD agora, E-mail: iks.pvd@foxmail.com